Cтраница 1
Графитовые подставки покрывают карбидом кремния, кремнием или кварцем. Однако это не предотвращает полностью попадания графита и примесей из подставки в эпитаксиальные пленкн. Поэтому часто идут на усложнение: изготовляют подставку нз чистого высо-коомного кремния, который предварительно нагревается ИК лампами или печами сопротивления. Сопротивление разогретой до высокой температуры кремниевой подставки снижается настолько, что дальнейший нагрев может быть осуществлен токами высокой частоты. Высокочастотный агрев имеет то преимущество, что стенки реактора не приходится подвергать специальному нагреву, что неизбежно происходит при использовании печей сопротивления. SiO является летучим веществом и испаряется при используемых температурах. В газообразную фазу переходят также примеси, содержащиеся в кварце. Поэтому стенки реактора специально охлаждают. [1]
На графитовых подставках возможно образование карбида при их разогреве в месте контакта с кремнием. Более того, из графита при рабочих температурах выделяется много газов. Поэтому графитовые подставки обычно покрывают карбидом кремния, кремнием или кварцем. Но и это не исключает загрязнения. Эта реакция сопровождается к тому же переходом в газовую фазу легирующих элементов из подложки. [2]
Бак располагается на графитовой подставке высотой 28 см и примерно той же формы и диаметра, что и сам бак. [3]
Схема устройства горизонтальной ( а и вертикальной ( б реакционных камер для эпитаксии. [4] |
Монокристаллические кремниевые подложки помещают а графитовую подставку, установленную в реакторе и нагреваемую индуктором. [5]
Получаемая таблетка, установленная на графитовую подставку, служит нижним электродом искрового разряда. Верхним электродом - угольный стерженек, заточенный на конус. [6]
Анализируемый образец - таблетку помещают на графитовую подставку, укрепленную в штативе. Подставку выполняют в виде круглого стержня диаметром - 10 мм, на торце которого выточено небольшое углубление-мениск. Верхним электродом служит круглый стержень из меди марки ВЧ или МО, заточенный на усеченный конус с углом 45 и площадкой диам. [7]
При этом дуга не воздействует непосредственно на графитовую подставку, последняя остается холодной, и в спектре отсутствуют как молекулярные полосы CN, так и линии загрязнений, имеющиеся в графите. Повышение чувствительности достигается благодаря возрастанию скорости диффузии компонентов к поверхности пробы и дистилляции летучих примесей, а при анализе капли металлических Pb, Ag, Sn, Аи и других, повышению чувствительности способствует также и частичное окисление кислородом воздуха микроколичесхв элементов-примесей с высоким сродством к кислороду. Эти окислы всплывают на поверхность расплава, обогащая его, и поступают преимущественно в разряд. Как показано в работе [76], глобульная дуга повышает чувствительность на 1 порядок. [8]
Нагрев подложек происходит за счет тепла, отдаваемого графитовой подставкой П, которая нагревается токами высокой частоты. В качестве источника энергии высокой частоты используется генератор ГВЧ. Регулируется выходная мощность ГВЧ, а следовательно, и температура подложек изменением анодного напряжения генераторной лампы. Режим автоматического регулирования обспечивает поддержание температуры с точностью 3 С в диапазоне 1200 - 1300 С. [9]
При определении железа, свинца и никеля образец помещают на графитовую подставку - катод дуги. Время расплавления 30 сек, длительность выдержки ( 30 - 90 сек ] определяется необходимостью получить нормальные почернения линий и фона. [10]
Соблюдение такой установки контейнера в процессе укладки керна в печи обеспечивается и регулируется специальной графитовой подставкой. [11]
Соблюдение такой установки контейнера в процессе укладки керна в печи обеспечивается и регулируется специальной графитовой подставкой. [12]
Температура нагрева стали для закалки ( по ГОСТ 5657 - 51. [13] |
Образцы нагревают в печи с контролируемой атмосферой или в стальном ящике, где образец ставят на графитовую подставку и закрывают стальной крышкой для предохранения от обезуглероживания. [14]
Возможен также такой процесс: предварительное окисление молибденовых проволочек в муфельной печи, возгонка трехокиси молибдена в печи с защитной атмосферой, остекление вводов путем спаивания с предварительно насаженными на проволочки бусинками из стекла С48 - 3 на графитовых подставках в печи с защитной атмосферой. [15]