Оптическое покрытие

Cтраница 1

Оптические покрытия применяются с целью придания покрываемым элементам определенных оптических свойств, например способности пропускать или отражать световые лучи. Первые наносятся из прозрачных материалов ( см. гл. XXII), а вторые представляют собой слои металлов, нанесенные способами, описанными в гл. [1]

Однослойное оптическое покрытие снижает до нуля отражение света с А 550 нм. Во сколько раз снижает отражение то же покрытие при А 450 нм и А 700 нм по сравнению со случаем, когда покрытие отсутствует. [2]

Среди задач, решаемых с помощью оптических покрытий, имеется ряд общих как для полупроводниковых излучателей, так и для приемников излучения, таких, как вентильные фотоэлементы, фотодиоды и фотосопротивления. [3]

Установки камерного типа для напыления ( фирма Ульвак, Япония. [4]

Вакуумная установка ВУТП-2 [9] дает возможность наносить тонкослойные оптические покрытия из диэлектрических, полупроводниковых и проводниковых материалов термическим испарением с одновременным контролем толщины слоя в процессе его нанесения. [5]

Попытки использовать полиэтилен и полипропилен в качестве оптических покрытий показали, что они слишком мягки, легко повреждаются и не закрепляются на поверхности стекла. Кроме того, технология нанесения их требует высоких температур. Полиэтилен растворяется в ароматических углеводородах только при 120 С, поэтому нанесение пленок из его растворов также должно производиться примерно при той же температуре. Растворимость его ограничена, он склонен к гелеобразованию, вследствие чего использование его в виде концентрированных растворов встречает затруднения. [6]

Авторы [135] указывают на потенциальные возможности применения этих пленок в качестве оптических покрытий для измерения уровня солнечной энергии и в качестве поглотителя р-типа в структурах солнечных элементов. [7]

Полимерные карбонаты, обладающие высокой химической устойчивостью и особой твердостью, также неприменимы для оптических покрытий ввиду их малой растворимости, плохой адгезии и особой хрупкости. Разнообразные каучукоггодобные вещества или смолы обладают недостаточной адгезией и твердостью. [8]

Толщина большинства изоляционных и антикоррозионных покрытий достигает 300 - 400 мкм, тогда как толщина оптических покрытий в сотни и тысячи раз меньше. В связи с этим и требования к однородности оптических покрытий значительно выше, чем к покрытиям, применяемым в других отраслях техники. Кроме того, оптические материалы - стекло, кристаллы - значительно менее термостабильны, и поэтому такой метод, как например, газопламенное напыление полимеров, требующее нагрева изделий до высоких температур, оказывается в технологии оптического приборостроения непригодным. [9]

Предназначена для инженерно-технических и научных работников лакокрасочной промышленности и отраслей, связанных с применением лакокрасочных материалов в качестве оптических покрытий. [10]

Несмотря на стремительный рост разработок новых видов полимерных соединений и развитие новых методов получения полимерных пленок, выбор полимеров для создания оптических покрытий весьма ограничен. Это обусловлено тем, что к органическим полимерным пленкам, которые могли бы быть использованы в качестве оптических покрытий, как и к неорганическим пленкообразующим веществам, предъявляются особые требования. Полимерные пленки должны быть прозрачны для излучения широкой области спектра и без глубоких полос поглощения. Они должны быть исключительно однородными, достаточно термостабильными, химически устойчивыми и стабильными в различных условиях эксплуатации оптических приборов. [11]

В большинстве случаев метод химического осаждения из паровой фазы в отличие от других методов осаждения позволяет получать более высококачественные диэлектрические пленки, которые применяются как оптические покрытия, покрытия для пассивации поверхности, изоляционные покрытия в многослойных структурах, как маски при проведении диффузии и фототравления, а также как покрытия, предотвращающие коррозию. [12]

Системы непрерывного действия более целесообразно использовать для нанесения пленок на всю площадь поверхности подложки, например, для металлизации лент, плоских заготовок и пластиковых изделий или для изготовления оптических покрытий линз. Если требуется определенная конфигурация слоя, то в процессе напыления применяют маски или используют метод травления уже напыленного слоя. Однако метод дифференциального травления, вообще говоря, не применим для получения многослойных пленочных структур методом напыления, ради которых, собственно, и были созданы рассматриваемые высокомеханизированные системы. Поэтому для изготовления многослойных микроэлектронных схем приходится применять маски и устройства для их смены. Большие трудности возникают при прецизионном совмещении последовательно серии масок с подложкой внутри вакуумной системы. Непосредственный контакт маски с подложкой может привести к нежелательному изменению маски из-за теплового расширения или коробления. Однако еще более существенно то, что по мере миниатюризации тонкопленочных элементов техника напыления оказывается уже не в состоянии обеспечить требуемую точность размеров, реализуемую лишь с помощью прецизионных фотолитографических методов ( см. гл. Именно поэтому в последние годы использование автоматизированных напылительных систем для микроэлектронных применений заметно снизилось. Растущий объем производства полупроводниковых микросхем, изготавливаемых методами полупроводниковой технологии, делает с экономической точки зрения все более привлекательным применение простых систем непрерывного действия для осаждения лишь одного слоя. [13]

Обе фракции Ti ( OC2H5) 4 в этиловом спирте могут служить пленкообразующими веществами. Показано, что для образования оптических покрытий лучшие результаты дают растворы жидкой фракции, мономера тетра-этоксититана. Меньшие значения показателя преломления наблюдаются у пленок, полученных из растворов твердой фракции и из жидкого желто-коричневого продукта, выделенного при расслоении Ti ( OC2H5) 4 при хранении. [14]

Страницы: 1 2