Cтраница 5
Если входной сигнал отсутствует, то при развертке электронного луча по мишени на ее поверхности устанавливается некоторый равновесный потенциал. Если на сигнальную пластину подать положительный входной сигнал ( например, запись сигнала 1), то потенциал мишени повышается и облучаемый участок мишени заряжается отрицательно относительно сетки. Если на сигнальную пластину подать отрицательный входной сигнал ( запись 0), то облучаемый участок мишени заряжается положительно относительно сетки. [61]
При Ua UKp2 коэффициент вторичной эмиссии вновь становится равным единице, а с дальнейшим увеличением ускоряющего напряжения - меньше единицы. При равенстве потенциалов мишени и катода электроны не будут оседать на мишени, поэтому коэффициент вторичной эмиссии при потенциале мишени, равном потенциалу катода, условно считают равным единице. [62]
Рассмотренные выше методы распыления на постоянном токе применяют для напыления металлических и полупроводниковых материалов. В случае диэлектрической мишени попадающие на нее положительные ионы не могут нейтрализоваться электронами из внешней цепи; в результате потенциал мишени повышается и процесс прекращается. Поэтому для распыления диэлектрической мишени необходимо периодически менять знак потенциала на ней. [63]