Проводимость - пленка
Cтраница 3
 |
Зависимости энергии активации ЕА от концентрации Nо легирующей примеси в поликристаллических пленках Si, полученных химическим осаждением из паровой фазы. [31] |
Хиннеберг и др. [22] подтвердили, что по типу проводимости пленки не отличаются от материала мишени. В-с), что соответствует значениям подвижности носителей в массивных кристаллах. Более низкая подвижность носителей в тонких пленках ( толщиной - 1 мкм) связана с их дополнительным рассеянием на дефектах кристаллической структуры. При комнатной температуре концентрация носителей в эпитаксиальных слоях изменяется от 1 1016 до 2 - 1017 см-3. Исходя из температурной зависимости концентрации носителей ( см. рис. 3.6), установлено, что акцепторные уровни отстоят от края валентной зоны на 0 05 эВ; наличие этих уровней объясняют присутствием в пленках примеси бора, содержавшегося в материале мишени. [32]
При наличии существенной поверхностной проводимости пленок величину Wf следует заменить на проводимость пленки, усредненную по ее толщине, включая и поверхностные слои. [33]
 |
График изменения составляющих полного нормированного сопротивления, обусловленного частотными свойствами волновода.| Частотные характеристики волноводных головок с пленочным болометром. [34] |
Этот же отрезок используется как подвижной поршень, компенсирующий реактивную составляющую нормированной проводимости пленки. [35]
Полное сопротивление такой неоднородности является сложной функцией нескольких параметров: удельной СВЧ проводимости пленки; относительных размеров болометра и волновода; частотных свойств используемого волновода. [36]
На рис. 5.3.3 представлены темповая проводимость при 25 С и энергия активации проводимости пленок, осажденных при различных мощностях разряда. Легированные фосфором пленки Si: Н были получены разложением газовой смеси SiH4 - H2 - PH3 ( SiH4 / H2 1 / 20, PH3 / SiH4 0 01) в высокочастотном ( 13 56 МГц) тлеющем разряде в емкостно-спаренном реакторе. [38]
Уменьшение сопротивления связано, вероятно, со столь значительным изгибом края зоны проводимости пленки, что в нее оказывается возможной инжекция электронов. Если предположить, что однозарядовые агрессивные ионы адсорбировавшиеся на площадке - 100 мкм2 с плотностью I013 ионов / см отдадут свои электроны, то при длительности процесса порядка микросекунды в канале пройдет ток - 10 А / сиг. Весьма близкие данные по плотности тока на начальной стадии питтингообразования приводятся в литературе. [39]
ТПТ с изолированным затвором представляет собой полупроводниковый триод, действие которого основано на модуляции проводимости пленки полупроводника поперечным электрическим полем. Процесс изготовления ТПТ состоит из следующих этапов: вначале на очищенную и обезгаженную в вакууме изолирующую подложку осаждается пленка полупроводника, затем производится осаждение металлических электродов истока и стока, поверх которых наносится слой изолятора и, наконец, слой металлического затвора. [40]
При повторном нагреве пленок до 300 С сохраняется стабильность температурного хода удельной электропроводности, значит, проводимость пленок меняется практически обратимо. Более высокий нагрев пленок приводит к необратимым изменениям электропроводности и других свойств. [41]
Полупроводниковые пленки чрезвычайно чувствительны к загрязнениям при нанесении, так как эти примеси и будут в итоге определять проводимость пленки. Поэтому в данном случае наилучшим методом испарения будет бестигельный, с помощью электронной бомбардировки. [42]
При напускании того же количества газа ( 10 мм рт. ст.) на окисленную уже поверхность наблюдается увеличение проводимости пленки. [43]
Так как в этой главе рассматриваются главным образом широкозонные диэлектрики ( Eg 3 эВ), то в основном проводимость пленок будет электронной, а не дырочной. Подвижность дырок обычно значительно меньше подвижности электронов, и вкладом дырок в проводимость почти всегда можно пренебречь. В реальных диэлектрических пленках концентрация ловушек высока, поэтому свободная дырка быстро захватывается и становится неподвижной. Тем не менее результаты могут быть использованы для любого типа носителей. [44]
 |
Сила тока, возникающая между двумя электродами, разделенными полимерной пленкой ( напряжение 1 В, ток регистрировался через 30 мин. площадь электрода 1 см2. [45] |
Страницы: 1 2 3 4