Cтраница 5
В технике термического напыления пленок известен ряд приемов, обеспечивающих получение заданного состава пленок. В методах быстрого испарения небольшая порция шихты интенсивно разогревается, полностью испаряется и конденсируется на подложке за время, намного меньшее, чем продолжительность формирования пленки. В этих условиях отклонение состава пленки от состава шихты может быть связано только с реиспарением материала пленки и загрязнениями из внешней среды и подложки. Это отклонение, как правило, менее значительно, чем отклонение, связанное с откачкой легколетучих составляющих материала шихты в вакуумную систему при медленном непрерывном испарении, и легче поддается контролю. К методам быстрого испарения, нашедшим применение в технологии пленок термоэлектрических материалов, относятся испарение измельченной шихты на испарителе, мгновенно нагреваемом до высокой температуры, в том числе дискретное испарение шихты, поступающей небольшими порциями, а также распыление шихты лазерным импульсом. [61]