Cтраница 2
Для получения оксидных пленок на алюминии и сплаве АМГ с пробивным напряжением 1500 - 2000 в применяют процесс анодного оксидирования электролита, содержащем 150 г / л серной кислоты уд. [16]
На рис. 13.2. представлены теоретические зависимости массы негидратированного оксида ток, увеличение массы образца т0ьр за счет ассимилированного кислорода и массы израсходованного и процессе анодного оксидирования алюминия / Прасх от количества прошедшего электричества, рассчитанные по закону Фарадея. [17]
На рис. 13.2. представлены теоретические зависимости массы негидратированного оксида ток, увеличение массы образца табр за счет ассимилированного кислорода и массы израсходованного и процессе анодного оксидирования алюминия гараСх от количества прошедшего электричества, рассчитанные по закону Фарадея. [18]
На рис. 13.2. представлены теоретические зависимости массы негидратированного оксида т к, увеличение массы образца т0г р за счет ассимилированного кислорода и массы израсходованного в процессе анодного оксидирования алюминия АЯрасх от количества прошедшего электричества, рассчитанные по закону Фарадея. [19]
![]() |
Изотермы термического окисления кремния в водяном паре при Ян О 1 атм. [20] |
Процесс анодного оксидирования возможен тогда, когда продукты окисления не удаляются с поверхности электрода растворением в электролите. Пассивация поверхности происходит, если образующийся оксид формируется в виде плотной малопористой пленки, достаточно прочно связанной с поверхностью подложки. Это явление наблюдается только тогда, когда электрод выступает в качестве активного компонента электрохимического взаимодействия. В присутствии кислорода поверхность кремния уже покрыта тонким оксидным слоем. Эта хемо-сорбционная пленка служит барьером для диффузии кислорода и предохраняет кремний от полного окисления при комнатной температуре. Преодоление этого барьера возможно или термическим путем, поскольку коэффициент диффузии экспоненциально растет с температурой, или созданием в окисле электрического поля. Одним из путей полевого ускорения диффузии и является анодное оксидирование кремния. [21]
Схема процесса анодного оксидирования приведена на фиг. [22]
Процесс химического оксидирования алюминия и его сплавов включает в себя основные операции: а) химическое обезжиривание в растворе, содержащем 50 г / л трифосфата натрия, 5 - 10 г / л едкого натра и 10 - 30 г / л жидкого стекла; температура 50 - 60 С, продолжительность 3 - 5 мин. Механизм процесса анодного оксидирования трактуется исследователями различно. Считают, что алюминий, растворяясь на аноде, образует гидрат окиси алюминия, который затем дегидратируется и твердеет с образованием окислов алюминия. Такое объяснение образования плотной окисной пленки не разделяется многими исследователями. [23]
Скорость реакции ( 3) возрастает следствие увел1ичения по верхности соприкосновения пленки ( из-за неравномерности ее растворения) с раствором электролита. Следовательно, в процессе анодного оксидирования алюминия скорость роста плевки уменьшается, а скорость ее растворения увеличивается. [24]