Cтраница 2
В отличие от разрешения по глубине разрешение по поверхности в методе ОЭС на несколько порядков хуже. Оно определяется, главным образом, линейным размером первичного пучка электронов, который в лучших моделях спектрометров изменяется от 5 мкм до 50 нм. [16]
Интерпретация дифракции [ IMAGE ] Схема электроно. [17] |
Последнее обстоятельство приводит одновременно к ухудшению резкости интерференционной картины, что является нежелательным. Поэтому при электронографических съемках стараются по возможности лучше сфокусировать первичный пучок электронов и стабилизировать ускоряющее напряжение. [18]
Число вторичных электронов с недостаточной энергией увеличивается с увеличением скорости первичных электронов. Другими словами, рост вторичной эмиссии при увеличении скорости первичного пучка электронов идет главным образом за счет возрастания числа электронов с малыми и с недостаточными энергиями. Таким образом, распределение по энергиям электронов, эмит-тируемых сложными катодами, отличается от распределения электронов, эмиттируемых чистыми металлами, что указывает на известные различия в механизме вторичной эмиссии. [19]
Распределение по энергиям истинно-вторичных электронов у металлов ( сплошные кривые и максвелловское распределение ( пунктирная кривая. [20] |
Из многочисленных измерений, выполненных разными исследователями [ 10 и ] следует, что чем больше угол падения первичных электронов, отсчитываемый от нормали к поверхности, тем больше и коэффициент вторично-электронной эмиссии. На рис. 37 дана зависимость а от угла падения первичного пучка электронов для металлов А. [21]
При анализе неметаллических включений используется и катодолюминесценция: образование квантов света с различной длиной волны в результате рекомбинации избыточных электронно-дырочных пар. Иногда на этот процесс может расходоваться до трети всей энергии первичного пучка электронов. Процесс катодо-люминесценции происходит в некоторых полупроводниках и диэлектриках и усиливается; при понижении температуры. [22]
Быстрые электроны и - частицы, в отличие от тяжелых заряженных частиц, в среднем ионизируют одну из пятисот молекул вдоль своего пути в воде. Таким образом, первичные эффекты под действием быстрых электронов не имеют локализованного характера, и, в отличие от тяжелых частиц, распределение первичных продуктов ионизации как вдоль первичного пучка электронов, так и перпендикулярно к нему является в основном однородным. [23]
Энергия электронов в первичном пучке, а также диаметр зонда определяют локальность метода. Так, при диаметре зонда в сотни нанометров локальность по площади обычно не менее 0 4 - 1 мкм. При использовании энергии первичного пучка электронов с энергией 30 кэВ разрешение по глубине для матрицы со средней величиной Z составляет 1 - 3 мкм. Для РСМА разрешение по поверхности колеблется от 0 5 до 5 мкм, а по глубине - от 0 1 до 5 мкм. [24]
Морфология катализаторов может быть определена также методом просвечивающей электронной микроскопии, основанной на просвечивании тонкого слоя катализатора пучком высокоэнергетических электронов. Прошедшие через тонкопленочный образец катализатора электроны фокусируются на плоскость апертуры с помощью объектной линзы, а их увеличенное изображение детектируется на плоскости изображения, например на фоточувствительной бумаге. Кратность увеличения ( до одного миллиона раз), и, как следствие, разрешающая способность метода определяется, прежде всего, ускоряющим напряжением первичного пучка электронов. [26]