Многослойное зеркало
Cтраница 1
Рентгеновские многослойные зеркала своим появлением обязаны двум технологиям, интенсивно развивавшимся в последние 10 - 15 лет в электронной и оптической технике. [1]
Многослойные зеркала нормального падения на диапазон длин волн 125 - 200 А / Г апонов, В. В. Дубров, И. Г. Забродини др. / / Письма в ЖТФ. [2]
Спектральная селективность многослойных зеркал позволяет использовать их в рентгеновских спектроскопических исследованиях и для монохроматизации MP-излучения. С учетом невозможности нанесения бесконечно тонких слоев вещества требования конечного коэффициента отражения и наличия случайного разброса в толщинах слоев значения реально достижимой разрешающей способности в коротковолновой области следует уменьшить еще по крайней мере в несколько раз. Итак, разрешение МИС существенно уступает разрешению дифракционных решеток скользящего падения, у которых значения К0 / АК превышают 103 [78] ( см. также гл. [3]
МР-излучекия от многослойных зеркал могут достигать 40 - 80 % по для этого необходимо правильно подбирать как вещества, составляющие структуру, так и толщины пленок. Отметим, что в конечном счете именно поглощение ограничивает все предельные характеристики многослойной рентгеновской оптики. [4]
Перечисленные свойства многослойных зеркал, доступность и универсальность технологии их производства, а также удачные результаты испытаний образцов, полученные за последние годы во многих лабораториях, привлекли внимание к применению многослойных зеркал во многих научных и технических задачах. [5]
 |
Распределение интенсивности в ин - r r, . ПА. [6] |
Сейчас применяются почти исключительно диэлектрические многослойные зеркала, коэффициент отражения которых легко может быть доведен до 99 % и выше. [7]
 |
Принцип действия фокусирующего зл - липсоидального зеркала с многослойным покрытием для ESCA-анализа поверхности, позволяющего сфокусировать излучение с Я. и 1 нм в пятно диаметром 60 мкм. [8] |
Приведенные примеры показывают, что многослойные зеркала открывают разнообразные возможности управления рентгеновскими пучками и следует ожидать их дальнейшего внедрения во все области применения мягкого рентгеновского излучения. Упомянем в связи с этим работу [6], в которой рассмотрены рент-генооптические системы на основе МИС для осуществления проекционных схем в рентгеновской литографии - методах производства и тиражирования микросхем с субмикронными размерами, а также работу [89], в которой исследуется радиационная стойкость МИС с точки зрения использования их в качестве пред-монохроматоров и других устройств для управления пучками синхротронного излучения. [9]
При отражении коротких импульсов от многослойных зеркал зависимость р от со играет принципиальную роль. Для выяснения особенностей отражательных свойств таких зеркал можно воспользоваться результатами § 1.3 и 1.4. Напомним, что из разложения фазы ср ( со) ( 3) и последующего анализа обнаруживается аналогия в картинах отражения сверхкороткого импульса и распространения импульса в диспергирующей среде. [10]
Оптический резонатор состоит из двух диэлектрических многослойных зеркал, обладающих большим коэффициентом отражения ( 0 98) на рабочей длине волны. Для удобства настройки резонатора регулируемое зеркало делают сферическим. [11]
При оценке влияния межплоскостных шероховатостей на параметры многослойных зеркал обычно для простоты предполагается, что шероховатости на различных границах раздела коррелируют между собой, а их среднеквадратичные высоты одинаковы. [12]
По существующим представлениям качество подложки является одним из важнейших условий получения многослойных зеркал с высоким коэффициентом отражения и минимальным рассеянием. [13]
В работах [ 24, 91 I описаны эксперименты по использованию многослойных зеркал для спектроскопии лазерной плазмы. В частности, описанный в работе 191 ] нятиканальный анализатор спектра состоит из пяти МНС. [14]
Страницы: 1 2 3