Разряд - низкое давление
Cтраница 3
 |
Влияние подводимой мощности на качество пленок нитрида кремния. [31] |
К ним относятся соединения серы, селена, теллура, фосфора, мышьяка, сурьмы, висмута. Чтобы понять эту методику, необходимо сначала сказать несколько слов о технологии, названной химическим распылением. Это не совсем удачный термин, поскольку обозначаемый им процесс не имеет, на самом деле, ничего общего с распылением. Чтобы проводить химическое распыление, соответствующий материал помещают в разряд низкого давления в атмосфере водорода Тогда ионы водорода вступают в реакцию с поверхностью этого материала и образуют водородное соединение. [32]
Источники возбуждающей радиации должны быть достаточно интенсивны, иметь надлежащий спектральный состав и отличаться большой стабильностью. Так, лампы накаливания дают сплошное излучение и легко стабилизируются. Наиболее подходящи маломощные лампы. Распространены газоразрядные источники УФ-излучения: ртутные газоразрядные лампы. Они имеют в УФ-области спектра достаточное число интенсивных линий. В зависимости от давления паров ртути, развивающегося при работе лампы, различают разряд низкого давления ( 10 - 2 - 1 мм рт. ст.), высокого давления ( 0 3ч - 3 атм) и сверхвысокого давления ( от 3 до нескольких сот атм); в соответствии с характером разряда газоразрядные лампы бывают низкого, высокого и сверхвысокого давления. [33]
Из сравнения рис. 492, а и б видно, что энергия излучения от резонансных линий 2540 А и 1850 А ( последняя на чертеже не показана) при увеличении давления в значительной степени переходит к нерезонансным линиям ближнего ультрафиолета в диапазоне 3000 - 4000 А и к желто-зеленым линиям видимого спектра 5460 А и 5720 А. Это явление было объяснено выше. При сверхвысоких давлениях ширина линий достигает уже десятков и даже сотен ангстрем. Кроме того, на линейчатый спектр накладывается на всем протяжении непрерывный фон. Возникновение этого сплошного спектра объясняют двумя причинами. Во-первых, в разряде сверхвысокого давления очень велики концентрации электронов и ионов и скорости их относительного движения меньше, чем в разряде низкого давления, из-за равенства температур электронной и газовой. Поэтому здесь происходит интенсивная объемная рекомбинация, сопровождающаяся, как известно, испусканием непрерывного спектра. [34]
 |
Изменение температуры Т, объемной плотно - 50 сти / излучения желтой линии РТУТИ S57B И ПЛОТНОСТИ. [35] |
Внешнее электрическое поле, приложенное к столбу, вызывает ускоренное движение электронов. В результате различного рода соударений с атомами электроны передают им энергию. При упругих соударениях вследствие большой разницы в массах электроны передают атомам очень малую часть энергии, равную приблизительно 2mefma ( например, для ртути 2me / m № g 2 / 1840Х X200 5 4 - 10 - e), но резко меняют направление движения. Поэтому движение электронов в столбе носит хаотический характер. При низком давлении газа и м алой плотности тока из-за относительно малой передачи энергии атомам электронный газ нагревается до температуры в десятки тысяч Кельвинов ( электронная температура), в то время как температура газа нейтральных атомов, на которые электрическое поле не действует, лишь немногим превышает окружающую. В стационарном разряде нагрев электронного газа компенсируется охлаждением за счет передачи энергии атомам газа. В столбе разряда низкого давления основными процессами передачи являются возбуждение и ионизация атомов. Возбужденные атомы, возвращаясь в юстоянкя с меньшей энергией, испускают при этом избыток энергии в виде фотонов, которые, покидая разряд, уносят энергию с собой. Образующаяся в результате ионизации пара электрон - ион идет на пополнение потерь заряженных частиц. При этом они отдают свою энергию стенкам, вызывая их нагревание. [36]
Страницы: 1 2 3