Распыление - катод
Cтраница 3
В процессе роста в плазме окисел может загрязняться под влиянием фоновой атмосферы и из-за распыления катода. Основными приме сями из фоновой атмосферы являются вода, десорбируемая со стенок, водород и азот, присутствующие как примесь в баллонном кислороде, углеводороды, попадающие в рабочий объем из прокладок и фор-вакуумного насоса. [31]
 |
Газотрон и его условное обозначение. [32] |
Подъем вольтамперной характеристики, что указывает на рост падения напряжения внутри газотрона при относительно малом изменении нагрузочного тока. Работа газотрона на участке за точкой D совершенно недопустима, так как может повести к его гибели вследствие наступающего быстрого распыления катода. [33]
При малых расстояниях между контактами разрушается анод, при больших расстояниях - в большей степени катод. При малом значении тока из-за большого сопротивления цепи искровая лавина не образуется, и при низких давлениях воздуха получается тлеющий ( тихий) разряд, сопровождаемый распылением катода. [34]
Вскоре на поверхности катода образуется так называемая измененная область. По еравнению с исходным материалом эта область оказывается сильно обедненной компонентом с максимальным коэффициентом распыления. При дальнейшем распылении катода осаждается пленка такого же состава, что и исходный материал. [35]
Преимущество пушек с полым катодом по сравнению с накаливаемым катодом ( обычно в виде вольфрамовой нити) состоит в том, что эти пушки могут работать при относительно высоких давлениях и они просты в изготовлении. Существенным недостатком является распыление стенок полого катода и загрязнение подложки материалом, из которого изготовлены стенки катода. Для уменьшения распыления катода можно заменить аргон гелием, однако гелий требует для поддержания разряда более высокое давление и дает более низкое качество очистки поверхности подложки при ее ионной бомбардировке. [36]
 |
Распределение тиратронов ТХ4Б по величине сеточного тока зажигания после 23 000 ч работы в трштерном режиме при среднем токе анода 0 5 ма. [37] |
С ростом тока физическая долговечность ТТР уменьшается. Особенно сильно это проявляется при больших токах, при которых в тиратроне имеет место аномальный тлеющий разряд. Это обусловлено существенной зависимостью скорости распыления катода от величины катодного падения напряжения, которое в условиях сильно аномального разряда резко возрастет с увеличением тока. Кроме того, при больших токах возрастает температура катода и уменьшается плотность газа вблизи катода, что способствует его распылению. [38]
При конструировании электродов следует иметь в виду, что из них в разрядных трубках выделяется значительное количество тепла. Поэтому целесообразно делать поверхность электродов максимально большой. Кроме того, необходимо принимать во внимание распыление катодов. Этот эффект почти не наблюдается у алюминия и железа. [39]
Кроме того, обнаружены большие токи ионов Na и К, вторичных ионов бомбардирующих газов ( Кг и Кг21 или Хе и Хе2) и СГ. Наряду с упомянутыми основными ионами обнаруживается ряд примесных ионов ( Mg, S и Fe), количество которых со временем уменьшается, и большие концентрации нейтральных частиц, особенно Н20, СО, С02, углеводородов и Hg. Наблюдаемый пик вольфрама обусловлен, вероятно, распылением катода источника. [40]
Источником электронов обычно является проволочный катод прямого накала, выполненный в форме кольца, охватывающего исходное вещество. Для уменьшения температурного градиента в зоне кристаллизации обычно устанавливаются трубчатые экраны из оксида алюминия. Эти же экраны препятствуют попаданию примесей при распылении катода. Электроннолучевой способ нагрева успешно использовался при выращивании монокристаллов тугоплавких металлов и элементарных полупроводников. Для выращивания монокристаллов тугоплавких диэлектриков необходимо удалять с поверхности кристаллизуемого вещества накапливающиеся электрические заряды. Эту задачу для диэлектриков технически трудно разрешить. [41]
Ошибки, вызываемые поглощением пли испусканием газа, часто преувеличивают. Металлические слои, возникающие на стенках после продолжительной работы вследствие распыления катода, удаляют прополаскиванием трубки разбавленной плавиковой кислотой. Если и при атмосферном давлении отсчетный прибор манометра показывает отклонение, то это свидетельствует о нарушении изоляции в соединительном кабеле между вакуумной системой и отсчетным устройством. Градуировка прибора со временем нарушается вследствие размагничивания постоянных магнитов. В этом: случае требуется новое намагничивание магнитов. [42]
В реальных условиях взрывного прессования имеют место процессы, препятствующие качественному компактированию порошков. К ним можно отнести упругое последействие, вызывающее трещинообразование прессовок после снятия ударной нагрузки [128], инерционность масс уплотняемого порошка, приводящую к градиенту плотности с уменьшением по направлению воздействия импульсной нагрузки [61], сопротивление защемленного в порах воздуха [61], взаимодействие с прессуемым материалом воздуха и адсорбированных на поверхности частиц газов и влаги, подвергающихся в порах адиабатическому сжатию и вытесняемых с большой скоростью из пористой заготовки, что приводит к значительному разогреву как самой газовой смеси, так и масс порошка, что в свою очередь способствует активному газонасыщению материала. В дальнейшем при эксплуатации газовые примеси отрицательно влияют на процесс распыления катодов и качество наносимых покрытий. [43]
Декатрон работает в диапазоне анодных токов 250 - 550 мка. Нижний предел тока связан с нестабильностью разряда, верхний - - с распылением катода. [44]
Здесь нанесены граничные вольт-амперные характеристики, определяющие полосу возможного их разброса, обусловленного нестабильностью эмиссионных свойств катода, а также уменьшением плотности ( давления) газа из-за поглощения его стенками. Вертикальные пунктирные линии ограничивают минимально и максимально допустимые значения катодного тока. Минимум тока ограничен необходимостью покрытия всей поверхности катода свечением, а максимум тока ограничен допустимыми нормами распыления катода в процессе эксплуатации прибора, определяющего его долговечность. [45]
Страницы: 1 2 3 4 5