Распыление - катод
Cтраница 4
 |
Водородная лампа простейшей конструкции, / - алюминиевый катод, S - капилляр, 3 - водяное охлаждение, 4 - переходная втулка к монохроматору. [46] |
В трубке предусмотрено охлаждение водой капилляра, катода и входной щели монохроматора. При больших токах наблюдается заметное распыление катода. [47]
 |
Распределение энергии в спектре люминесцентных ламп. [48] |
Экономичность люминесцентных ламп без учета потерь в балластном дросселе колеблется в пределах 30 - 50 лм / вт, а их световой кпд в 2 5 раза выше, чем у ламп накаливания. Дроссель необходим, во-первых, для стабилизации разряда и, во-вторых, потому, что напряжение горения ламп значительно ниже напряжения сети. Срок службы люминесцентных ламп равен 2500 - 3000 часов против примерно 1000 часов для ламп накаливания. Причиной порчи люминесцентной лампы обычно бывает распыление катода. [49]
При одинаковых параметрах плазмы скорость анодирования не зависит от методов создания плазмы. Параметры плазмы при использовании этих видов разряда мало отличаются от получаемых в положительном столбе простого тлеющего разряда в диодной системе. Для защиты растущего окисла от продуктов распыления катода необходимы специальные меры, рассмотренные ниже. [50]
 |
Схема включения индикатора с циферблатом. [51] |
Десять участков катода покрыты изоляцией таким образом, что на нем чередуются покрытые и непокрытые участки. При этом разряд идет на один из непокрытых участков. Вблизи от каждого участка катода между катодом и общим анодом имеется сетка из проволоки. Так как в лампе использованы чистометаллические электроды и применено распыление катодов при изготовлении, то характеристики каждого промежутка весьма однообразны. Поэтому совсем малое положительное управляющее напряжение на одной из сеток создает преимущество для зажигания разряда на соответствующий участок катода при постепенном увеличении отрицательного потенциала на катоде. [52]
Этот ток имеет в основном три составляющие. Первая обусловлена попаданием во время работы на сетку лампы некоторого количества электронов из катода. Для устранения этого на сетку подают отрицательное напряжение смещение. Вторая составляющая вызвана ионизацией остатков газа в лампе или распылением катода, а третья - электронной эмиссией самой сетки. Для уменьшения второй составляющей сетка внутри лампы крепится на особых стеклянных держателях, защищающих от попадания на ее поверхность проводящих частиц. Уменьшение термоэлектронной эмиссии достигается снижением температуры внутри лампы, для чего понижают температуру катода, применяя специальные материалы. Электрометрическая лампа закрывается экраном от доступа света с целью устранения фотоэлектрсмного эффекта от внешних источников. [53]
 |
Схема переключения катодов цифрового индикатора. [54] |
Как видно из рисунка, только через катод 4 может идти ток, другие катоды принимают значения потенциала, промежуточные между анодом и работающим катодом. Величину RA следует выбирать тщательно. Ток должен быть достаточен для свечения всего катода. Если же он слишком велик, лампа работает в области аномального тлеющего разряда. При дальнейшем возрастании тока распыление катода возрастает так, что это сказывается на долговечности лампы. Поэтому для надежной работы лампы в течение всего срока службы важно, чтобы точно соблюдались рекомендации изготовителя. Новая лампа обычно удовлетворительно работает при значительно меньшем токе, чем обусловленный минимальный ток. Однако через некоторое время материал, распыляющийся с катодов, частично загрязняет некоторые из катодов так, что работа выхода на загрязненных участках возрастает. Ток, идущий к катоду, в этом случае стремится проходить только по чистым участкам. Так будет до тех пор, пока эти участки не начнут работать в режиме аномального тлеющего разряда; тогда напряжение горения станет достаточным для распространения свечения и на загрязненные участки катода. Поэтому изготовитель обусловливает минимальное значение тока, достаточное для полного свечения и загрязненного катода. [55]
 |
Система геттернвго распыления. [56] |
В экспериментальных устройствах геттерного распылевия катод делается ограниченных размеров, а стенки распылительной камеры располагаются возможно ближе к подложке и катоду, но так, чтобы они не влияли на тлеющий разряд. Компактная распылительная камера большой газопроницаемости помещается внутрь основной ва-куумвой камеры. Таксе устройство обладает двумя следующими преимуществами. Кроме того, если внутренняя камера достаточно герметична, то между этой камерой и основным вакуумным объемом можно поддерживать с той же - целью достаточно большую разность давлений. Другая особенность методики геттерного распыления состоит в том, что иногда исключают экран катода и проводят распыление катода со всех сторон. Хотя охлаждение такого катода значительно усложняется по сравнению с обычной конструкцией, в этом случае происходит весьма эффективное поглощение примесей, если впускное отверстие для распыляющего газа находится в верхней части камеры вблизи оса такого неэкранированного катода. Одной из наиболее важных деталей этого устройства является заслонка. [57]
Участок ВС характеристики соответствует компенсации отрицательного пространственного заряда у катода за счет возрастающего поступления ионов в катодную часть, и в точке С ток через разряд делается равным эмиссионному току катода. Повышение тока до значений, превышающих полный ток эмиссии, возможно только при увеличении эмиссии электронов из катода за счет гамма-процессов, прежде всего за счет выбивания электронов ионами. Это приводит к новому повышению напряжения на участке CD. Режим разряда, соответствующий этому участку, называется несвободным режимом. В ионных приборах с накаленным катодом несвободного режима избегают, так как с повышением напряжения усиливается распыление катода. [58]
Магнитные манометры, так же как и термоэлектронные, обладают откачивающим действием. Скорость откачки магнитных преобразователей обычно выше, чем термоэлектронных. Большое значение чувствительности и высокое ускоряющее напряжение обусловливают образование в магнитных преобразователях большего числа положительных ионов высокой энергии, чем в термоэлектронных преобразователях. А это приводит к лучшему распылению материала катода и усилению ионной откачки. Откачка химически активных газов происходит благодаря их химическому взаимодействию с материалом катода во время ионной бомбардировки. Распыление катода осуществляется в этом случае в виде химических соединений. Непрерывно обновляемая свеженапыленная пленка на поверхности анода и стенках манометра также обладает откачивающим действием. Быстрота откачки газов такой пленкой обычно пропорциональна площади напыленной поверхности. Благодаря физической адсорбции молекул газа на пленке возможна непрерывная откачка как химически активных, так и не взаимодействующих с материалом катода, но хорошо адсорбируемых газов. Откачка легких газов, в том числе и инертных, с небольшим эффективным радиусом молекулы, осуществляется путем ионной откачки во время ионной бомбардировки в материале катода и последующей диффузией по всему объему катода. [59]
При интерференционных измерениях мер длины обычно применяют гейслеровские трубки, заполненные гелием или криптоном. Для разностей хода свыше 20 мм пользуются линиями криптона. Формы этих трубок чрезвычайно разнообразны. На рис. 30 изображены наиболее распространенные формы криптоновых и гелиевых трубок. Вследствие распыления электродов стенки лампы вблизи катода покрываются непрозрачным слоем металла катода, и поэтому форму трубок выбирают такой, чтобы катод не находился на пути излучения. Для катодов используют алюминий, никель, вакуумное железо. Но хотя и в меньшей степени, чем другие, эти металлы в атмосфере нейтральных газов все же распыляются. Срок службы трубок достигает 50 - 100 ч и зависит от тренировки трубок и степени распыления катода. Распыление катода увеличивает поглощение светящегося в трубке газа, из-за чего снижается срок ее службы. [60]
Страницы: 1 2 3 4 5