Плазменное распыление
Cтраница 1
Плазменное распыление используют преимущественно для нанесения покрытия из материалов с высокой температурой плавления, например керамики. [1]
Использование плазменного распыления в импульсном режиме позволило получить никелевое покрытие на борных волокнах, причем разупрочнение волокон составило не более 10 %, в то время как при стационарном режиме волокно теряет до половины своей исходной прочности. [2]
Процесс плазменного распыления с вращающимся электродом ( ППРВЭ ] осуществляется в вакуумплотной камере. [3]
Сущность способа плазменного распыления состоит в переносе порошкового материала на поверхность изделия высокотемпературным потоком плазмы, которая образуется в результате частичной ионизации инертного газа ( аргон, гелий или смесь гелия с азотом) при пропускании его через электрическую дугу при температуре от 3000, до 8000 С. [4]
Присущая процессу плазменного распыления при низком давлении практически неограниченная возможность варьировать состав наносимого покрытия дает возможность подбора оптимального состава оверлейного покрытия для каждого конкретного сплава подложки и определенных рабочих условий. [5]
В настоящей работе рассмотрен механизм плазменного распыления вольфрама и молибдена по схеме проволока-анод и исследовано влияние переменных параметров процесса на гранулометрический состав и выход фракций получаемого сферического порошка. Экспериментальная часть работы проведена на универсальной плазменной установке УПУ-2М. Диаметры сопла и электрода горелки равны соответственно 3 и 9 5 мм. [6]
Металлизационные покрытия, нанесенные способами газопламенного и плазменного распыления, несмотря на то что являются пористыми и по своим характеристикам во многом уступают исходным материалам, широко применяются во многих отраслях промышленности и особенно для защиты металлоконструкций от атмосферной и водной коррозии. [7]
Третья группа включает газопламенное напыление и плазменное распыление. [8]
По данным Холдена, на установке плазменного распыления были получены порошки серебра с поверхностью до 12 м2 / г. Однако, насколько нам известно, удачных попыток активировать электроды порошками такого типа не было. В определенной степени такая задача была решена Шредером, который получил серебряные катализаторы термическим разложением порошка оксалата серебра на металлической поверхности, нагретой до 250 - 500 С. При контакте с поверхностью происходит ззрывоподобное разложение оксалата серебра с образованием мелких гранул высокодисперсного серебра с поверхностью до 10 м2 / г. Поэтому для предотвращения спекания серебра и укрупнения гранул длительность контакта соли и серебра с металлической поверхностью должна быть сведена к минимуму. [9]
 |
Принципиальная схема установки для плазменного распыления металлической проволоки. [10] |
На рис. 103 показана принципиальная схема установки для плазменного распыления металлической проволоки, работающая по схеме анод-проволока. [11]
Существуют и другие способы нанесения антидиффузионного покрытия, например плазменным распылением. Этим способом можно получать толстые антидиффузионные покрытия, и он используется, в основном, для термогенераторов, где надо иметь особенно хорошую защиту от диффузии примесей из припоя и коммутационных пластин. [12]
Чтобы избежать загрязнения или окисления наносимого материала, в процессе плазменного распыления в качестве носителя обычно используют инертный газ, например, аргон. Частицы материала-покрытия попадают на поверхность подложки, имея относительно низкую температуру. Последняя может быть ниже 100 С, несмотря на то, что температура плазмы составляет несколько тысяч градусов. Следовательно, этим методом можно наносить покрытия на легкоплавкие, или изменяющие свои свойства при нагревании материалы. Обычно покрытия обладают повышенной плотностью и имеют лучшее сцепление с подложкой, чем при нанесении газопламенным методом. При распылении можно использовать одновре-мено два или более порошков, что позволяет получать таким способом металлические композиционные материалы, как в виде покрытий, так и отдельно. [13]
Почти любой плавящийся материал может быть использован в качестве покрытия при плазменном распылении. Этим методом могут быть получены разнообразные покрытия, простых или сложных, металлических и неметаллических веществ. Плазменное распыление позволяет получать и такие виды покрытий, которые нельзя осадить каким-либо другим путем. К наиболее типичным материалам, используемым при плазменном распылении, относятся медь, никель, тантал, молибден, коррозионностойкие сплавы типа стеллитов, окись алюминия, двуокись циркония, карбиды вольфрама и бора и нержавеющие стали. [14]
Тонко-пленочные резисторы изготавливаются тремя основными методами: термовакуумным испарением, катодным или плазменным распылением и осаждением из газовой фазы. [15]
Страницы: 1 2 3