Плазменное распыление

Cтраница 2

В работе [6] на основании экспериментальных исследований доказано, что для изготовления ППМ с высокой проницаемостью более перспективным является использование порошков титана, получаемых методом плазменного распыления вращающегося электрода. С, вызывает потребность в формах, материал которых должен выдерживать высокие температуры и не взаимодействовать с материалом спекаемого порошка. Такие жесткие требования к оснастке [38], а также необходимость использования инертной среды или вакуума делают процесс спекания в состоянии свободной насыпки во многих случаях экономически неоправданным. [16]

Плазма представляет собой газ, нагретый до такой высокой температуры, что он в результате ионизации становится электропроводным. При плазменном распылении газ пропускают через электрическую дугу, в результате чего из сопла выходит струя плазмы. Материалы, используемые в качестве покрытия, вводят в струю в виде порошка, который плавится в ней и с высокой скоростью направляется на поверхность покрываемой детали. [17]

Существование немногочисленной, но постоянно расширяющейся группы упорядоченных сплавов, обладающих некоторым запасом пластичности ( Ni3Al В, Co3Ti, Fe3Al и ( Fe Ni) 3V), вызывает все более пристальный интерес к технологии их приготовления. Массивные заготовки из алюминидов могут быть получены консолидацией традиционными методами порошковой металлургии, плазменным распылением с или без горячего изостатического прессования ( ГИП), а также дуговой плавкой и литьем с последующей высокотемпературной экструзией или холодной прокаткой, чередующейся с рекристал-лизационными отжигами. Было доказано, что гранульная технология1 является полезным технологическим процессом, обеспечивающим измельчение зерна и уменьшение сегрегационных эффектов в процессе затвердевания сплава Ni3Al В. [18]

Почти любой плавящийся материал может быть использован в качестве покрытия при плазменном распылении. Этим методом могут быть получены разнообразные покрытия, простых или сложных, металлических и неметаллических веществ. Плазменное распыление позволяет получать и такие виды покрытий, которые нельзя осадить каким-либо другим путем. К наиболее типичным материалам, используемым при плазменном распылении, относятся медь, никель, тантал, молибден, коррозионностойкие сплавы типа стеллитов, окись алюминия, двуокись циркония, карбиды вольфрама и бора и нержавеющие стали. [19]

Плазменное распыление используют преимущественно для нанесения покрытия из материалов с высокой температурой плавления, например керамики. При плазменном распылении расплавленный металл защищен от жисления, а капли ударяются о покрываемый предмет с очень эолыной энергией. [20]

Приведенные в работах [ 221, с. Применение цинка представляется нецелесообразным, так как жидкий цинк вызывает коррозионное растрескивание. Однако и плазменное распыление алюминия и никеля, и электролитическое осаждение никеля неэффективны, так как полученные при этом покрытия пористы. Покрытия, полученные погружением образцов в расплавленный алюминий, хорошо защищают титановые сплавы по всей их поверхности, кроме кромок. [21]

Метод термометрии по коэффициенту отражения от полированной поверхности может применяться для случаев, когда изменение R обусловлено только изменением температуры, а характер взаимодействия света с поверхностью качественно не меняется. Если R изменяется во времени по причинам, не связанным с температурой ( например, из-за развития шероховатости или образования пленки на поверхности), точность определения температуры падает и метод становится ненадежным, так как в течение эксперимента меняются не только параметры модели, описывающей взаимодействие света с поверхностью, но и сама модель. Например, при плазменном распылении монокристалла кремния уменьшение температуры, измеряемой по отражению лазерного пучка ( Л 633 нм) [4.17] может быть фиктивным: если при ионной бомбардировке развивается шероховатость поверхности и уменьшается коэффициент отражения света, это уменьшение можно ошибочно принять за понижение температуры кристалла. [22]

Принципиальная схема двухэлектродного метода распыления. [23]

В целях повышения производительности или получения толстых пленок разрабатывается аппаратура, позволяющая достигать еще больших скоростей. Гак, в случае плазменных методов ( трех - и четырехэлектродный) и магнетрояного метода скорость осаждения достигает 1 мкм / мин. При использовании аппаратуры Для плазменного распыления достигаются большие скорости распыления и имеется возможность - получать пленки с малым количеством посторонних газов. [24]

Зависимость сорбционной емкости цеолита марки Линде 5 А для Oj, N2 и Аг от температуры ( по Бэрреру. [26]

И если все другие обычные газы легко десорбируются при восстановлении температуры криосорбционного насоса до комнатной ( см. табл. 3), то регенерация сита, содержащего пары воды, требует нескольких часов прогрева до 350 С. Еще одним фактором, который нужно учитывать при использовании криосорбционных насосов, является плохая теплопроводность молекулярных сит. И поскольку их эффективность зависит от охлаждения, то сита закрепляются в корпусе ловушки либо в виде тонких вкладышей, удерживаемых металлическим экраном, либо распределяются в узких каналах. Бэннок [90] использовал трубчатые элементы диаметром 2 см, длиной 60 см. Сэндс и Дик [93] методом плазменного распыления цеолита наносили на металлические трубки прочно сидящие слои адсорбента, чем обеспечили лучший тепловой контакт. Этот метод требует нанесения вторичного потока частичек цеолита, поскольку материал из плазменного потока теряет свои адсорбционные свойства и служит в основном в качестве биндера. При применении этого метода должна быть решена проблема пыли, появляющейся из-за плохой прессовки слоев цеолита, приводящей к загрязнению вакуумной камеры. [27]

Для предотвращения кислородного охрупчивания детали из ниобия и тантала во всех случаях должны быть защищены покрытием. Эти данные заставили пересмотреть возможности использования таких покрытий для деталей космических аппаратов и указали новые пути разработки и исследований покрытий. Нужная защита в условиях спуска в атмосферу может быть создана и с помощью другого типа покрытий, таких как окислы, нанесенные плазменным распылением. [28]

По способу изготовления КМ подразделяют на полученные жидко - и твердофазными методами, методами осаждения - напыления И комбинированными методами. При получении КМ осаждением - напылением матрица наносится на волокна из раствора солей, парогазовой фазы, плазмы. Комбинированные методы предусматривают совмещение нескольких методов. Например, пропитку или плазменное распыление используют в качестве предварительной операции, а прокатку, прессование или диффузионную сварку - окончательной. [29]

Указанный эффект следует различать от возможного изменения механических характеристик материала в связи с физическим присутствием покрытия. Тот факт, что процесс нанесения покрытия, в котором используется различного рода термообработка, сам по себе оказывает заметное воздействие на окончательные свойства материала, указывает на возможность, которой ранее до некоторой степени пренебрегали. Для образования покрытия желаемого состава можно использовать такие методы, которые в той или иной мере компенсируют неблагоприятное влияние первоначального процесса. Прошлые работы в части совершенствования методов нанесения покрытий в общем проводились в рамках тех методов осаждения, которые были наиболее удобны для исследователя, привычны для него и следовали уже намеченньм тенденциям. В частности, в последнее время все большее внимание получает плазменное распыление, а исследования в области твердой цементации сокращаются. Хотя в результате этих усилий в лабораторных условиях было разработано несколько отличных методов нанесения покрытий, целесообразно в плане сказанного выше серьезно проанализировать возможные положительные или отрицательные эффекты, связанные с применением того или иного уже имеющегося метода, уделив при этом особое внимание сравнению простоты процессов и их экономичности. Как показали недавние работы [ 2, 81, в которых предусматривалось использование таких изящных и простых методов нанесения покрытий, как алюминирование с помощью нанесения суспензии или силициро-вание в кипящем слое, покрытия могут быть иногда получены на очень крупных деталях ( рис. 7) при высокой надежности и эффективности этих покрытий. Важно, чтобы те методы нанесения покрытий, которыми мы в настоящее время располагаем, всесторонне рассматривались с точки зрения их применимости к крупногабаритным конструкциям из тугоплавких металлов, а это последнее соображение служило определенным критерием при выборе путей дальнейших исследований. [30]

Страницы: 1 2 3