Термическое распыление

Cтраница 2

Лазерный нагрев, так же, как и газоразрядный нагрев, используется для концентрации энергии на поверхности графита. Эта энергия используется для термического распыления графита. При этом графитовый образец ( мишень, на которую фокусируется лазерное излучение) помещают в печь для дополнительного нагрева. По мере уменьшения температуры печи качество нанотрубок ухудшается от бездефектных ( при 1200 С), с большим количеством дефектов ( при 900 С) и до полного отсутствия нанотрубок при 200 С. Предполагается, что нанотрубки растут в газовой фазе. [16]

Частицы УЛС были зарегистрированы в продуктах конденсации атомов углерода при термическом распылении графитовых электродов в электрической дуге, после абляции графита под воздействием высокоэнергетических лазеров или нагревании графита в солнечных печах. В дальнейшем был разработан метод, базирующийся на конденсации углеродных кластеров и атомов в матрице металла. Недавно формирование частиц УЛС было также зарегистрировано в электрической дуге под слоем воды. [17]

Углеродные реплики благодаря их ценным качествам ( прочность, устойчивость, обеспечение высокого разрешения) получают со многих объектов, подлежащих исследованию в электронном микроскопе. Для изготовления углеродных реплик, так же как и для углеродных пленок-подложек, применяют метод термического распыления угля, который описан выше при получении углеродных пленок-подложек. С помощью этого метода можно получить углеродные реплики толщиной 50 А и ниже, однако они не обеспечивают достаточного контраста при получении микрофотографии. Для повышения контраста обычно прибегают к оттенению тяжелыми металлами или к само-оттенению путем напыления углерода под некоторым углом к поверхности образца. Оттенение металлом может быть либо предварительным, либо последующим. В первом случае оттеняющий слой металла наносят непосредственно на образец, а затем на оттененную поверхность напыляют углерод. Во втором случае уже готовую углеродную реплику оттеняют металлом. [18]

Большим преимуществом ионно-плазменного метода перед другими является его безынерционность. Распыление материала происходит лишь тогда, когда на мишень подается напряжение, и оно сразу же прекращается после выключения напряжения. При получении же пленок путем термического распыления в вакууме при выключении нагрева испарителя процесс конденсации пленки на подложке не прекращается. Для его прекращения применяют специальные заслонки, препятствующие прохождению пара от испарителя к подложке. [19]

Фуллерены - аллотропические молекулярные формы углерода, в которых атомы расположены в вершинах правильных шести - и пятиугольников, покрывающих поверхность сферы или сфероида. В 1990 г. была создана относительно простая и эффективная технология получения фуллеренов в макроскопических количествах. В процессе дугового разряда с графитовыми электродами происходит термическое распыление графита, который затем конденсируется. Конденсат, содержащий кроме сажи - 10 - 20 % фуллеренов, помещают в органический растворитель ( бензол, толуол), где фуллерен, в отличие от сажи, довольно хорошо растворяется. Затем С6о и другие фуллерены выделяют из раствора методами перегонки. [20]

Для уменьшения порога чувствительности площадь болометрической полоски делается небольшой, а для уменьшения постоянной времени - очень тонкой. При таких размерах постоянная времени составляет т ф ж 0.01 - 0 02 с. При толщинах 0 1 - 0 01 мкм металлические слои частично прозрачны, и поэтому для увеличения коэффициента поглощения их покрывают слоем черни, обычно золотой, получаемой при термическом распылении золота в атмосфере чистого азота или водорода при давлении 1 - 5 мм рт. ст. Толщина слоя черни составляет 20 - 30 мкм. Золотая чернь неселективна в широком диапазоне длин волн. [21]

Зависимость скорости распыления в аргоне ( 1 - меди. 2 - титана в высокочастотном разряде. а - от давления. б - от ионного тока. в - от приэлектродного потенциала. [22]

Основные зависимости скорости распыления от параметров высокочастотного разряда ( рис. 4) качественно не отличаются от наблюдаемых в тлеющем разряде постоянного тока. Однако абсолютные величины измеренных нами скоростей распыления в высокочастотном разряде оказались значительно более вы. Так как опыт не показал заметного различия величин ионных токов на распыляемый электрод в тлеющем и высокочастотном разрядах, причину различия скоростей распыления нужно искать в энергиях ионов. Следует отметить, что при сильном нагреве электродов происходит их термическое распыление. Однако расчет, произведенный с учетом измеренных нами температур электродов ( - 500 С в тлеющем разряде и до 1000 С в высокочастотном разряде), показал, что термическим распылением можно пренебречь даже для меди во всем интервале условий наших экспериментов. [23]

Схематический гад электродов разрядных ламп. [24]

В ГЛВД и ЛСВД применяют так называемые пленочные катоды различной конструкции. Они, как правило, состоят из двух частей: зажигающей и рабочей. Зажигающая часть связана с активатором и служит для облегчения зажигания. После разгорания разряд переходит на рабочую часть, более стойкую в отношении термического распыления. Материалом для электродов служит вольфрам. При работе лампы активатор поступает на рабочую часть за счет диффузии и образует на ней мономолекулярную пленку, снижающую работу выхода электронов. [25]

Известны Г ] лакопленочные конденсаторы, где роль диэлектрика играют тонкие ( 1 - 3 мк) слои полимера, наносимые из лакового раствора, а роль обкладок - напыленный на них тонкий слой металла. Габариты их малы, однако фактически осуществлены только однослойные конденсаторы такого типа, так как весьма трудно подобрать такие полимерные растворы, чтобы при нанесении каждого последующего диэлектрического слоя предыдущие слои не набухали и не разрушались. Эта трудность была преодолена в работе авторов книги [33] путем применения в качестве диэлектрика полипиромеллитимида ПМ. Здесь использовалось то обстоятельство, что после термообработки полиимидный слой не разрушается лаковым раствором полиамидокислоты и хорошо металлизируется при термическом распылении в вакууме. [26]

Уникальными свойствами обладают матричные металлополимерные материалы, в - которых матрицей являются металлы. Они отличаются высокой электропроводностью, теплостойкостью, жесткостью, износостойкостью. Такого рода материалы особенно перспективны в качестве материалов для электрощеток, для которых необходимо сочетание хорошей электропроводности и антифрикционных свойств. В Институте механики металлополимерных систем АН БССР ( ИММС АН БССР) разработаны методы получения металлополимерных материалов с металлической матрицей путем введения полимеров в растворы металлов, путем совместного осаждения порошков полимера и атомов металла из термо-разлагающихся металлоорганических соединений, а также путем совместного термического распыления полимера и металла. [27]

Согласно Калеру [20], пленки, полученные путем катодного распыления, должны быть кристаллическими, а пленки, полученные путем термического распыления - аморфными. Дембипска [22], применяя к этим пленкам метод брегговского селективного отражения, показала, что структура платиновых пленок, приготовленных обоими методами, кристаллическая. Решетка ( направление III перпендикулярно к плоскости подложки) имеет строение, правильность которого зависит от природы подложки и метода приготовления. Следовательно, структура этих пленок несомненно должна быть кристаллической. Тождественность структуры слоев, приготовленных как катодным распылением, так и термическим распылением, хорошо согласуется с наблюдавшейся мной аналогией в их электрических свойствах. [28]

Установки для вакуумного конденсационного напыления покрытий классифицируются по ряду признаков. В зависимости от режима работы установки бывают периодического или полунепрерывного действия. Ось рабочей камеры располагается вертикально и горизонтально. По структурному строению установки делятся на одно - и многопозиционные. Средства откачки среды бывают масляные и безмасляные, низко - и высоковакуумные, а типы распылительных устройств - термического распыления, взрывного дугового испарения-распыления, ионного распыления, комбинированные. Применяют несколько типов установок, различающихся между собой способом нагрева испаряемого материала. К ним относятся установки с резистивными, электронно-лучевыми, высокочастотными индукционными и дуговыми испарителями. [29]

Страницы: 1 2