Водный раствор - плавиковая кислота
Cтраница 3
Микрослой, обусловливающий эти явления, прилипает к поверхности очень прочно. Если пленка не достаточно отвердела, ее еще можно удалить кипящим декагидронафталином [1423], однако полностью отвержденный слой можно удалить только сильными химическими реагентами, например водным раствором плавиковой кислоты или спиртовым раствором едкого кали. [31]
Составы электролитов, упоминаемые в литературе, разнообразны. Так, например, водный раствор поваренной соли с добавлением борной кислоты и водные растворы фторидов применяются при обработке черных металлов и сплавов на железной основе. Для обработки титана рекомендуется водный раствор плавиковой кислоты. Как неагрессивные рекомендуются ( Британский патент № 854541) электролиты, основанные на растворах едкого натрия, виннокислого натрия или хлористого натрия. [32]
Наиболее распространенный метод травления заключается в погружении подложки, подвергаемой травлению, в различные реактивы. Для травления используют растворы кислот и щелочей. Для обеспечения точности травления необходимо контролировать состав раствора, температуру, условия смешивания и прочность адгезии резиста к подложквг В частности, травление почти всегда происходит в присутствии различных металлов, поэтому следует учитывать возникающую при этом электрокоррозию. Например, при травлении в водном растворе плавиковой кислоты в присутствии одновременно алюминия и кремния растворение алюминия ускоряется. [33]
Не только плавиковая кислота, но и добавка азотной или соляной кислот позволяют выявлять фигуры травления на алюминии. Для успеха кристаллографического анализа решающее значение имеет степень чистоты алюминия. Этим определяется, в частности, продолжительность травления. При травлении 1 - 10 % - ным водным раствором плавиковой кислоты продолжительность травления составляет от нескольких секунд до нескольких минут. [34]
Примером того, как мало соответствуют классические определения действительности, может служить химия растворов в жидком HF. Здесь, как известно, почти все реакции протекают, по классическому определению, искаженно, а именно в направлении с о л ь-в о л и з а. Лишь у эфиров, для которых больше всего следует ожидать процесса сольво-лиза, он не наблюдается. Даже такие сильные кислоты, как HNO3, образуют ацидосоли ( H2NO F), хотя водный раствор плавиковой кислоты отнюдь не относится к сильным кислотам. HF является во фторосисте мах сильной кислотой. [35]
Этим методом было проведено наибольшее число опытов по получению антикоррозионных покрытий. Использование различных концентраций плавиковой кислоты позволило установить, что необходимой и достаточной концентрацией для обеспечения защиты металла является концентрация, равная 0 0025 мг фтора на литр воздуха. Чтобы получить такую концентрацию фтора в воздухе, необходимо барботировать его при температуре 25 С через водный раствор плавиковой кислоты, содержащий 0 05 г-моля фтора на литр. [36]
Травление производится в ванне, внутренняя поверхность которой покрыта кислотоупорным материалом. В ванне находится вращающийся барабан из листового текстолита или пластической массы, обладающей высокой стойкостью по отношению к плавиковой кислоте. Стенки барабана имеют большое количество мелких отверстий. Барабан на 50 % своего объема загружается основаниями через люк. После загрузки барабана ванна заполняется водным раствором плавиковой кислоты указанной выше концентрации. При вращении барабана происходит перемещение оснований, что ускоряет процесс травления и обеспечивает его равномерность. Последнее необходимо для равномерного распределения проводящего слоя на поверхности основания. [37]
 |
Спектр нарушенного полного внутреннего отражения окисленного кремния в области кислородной линии при постепенном стравливании тонких слоев окисла. [38] |
Фактически он является слоем с отдельными микровключениями коагулированной оксидной фазы кремния, в основном двуокиси. Здесь рассмотрен особый слой кремния, толщина которого значительно меньше упомянутого, а дефектность выше. Он должен обладать повышенным содержанием кислорода, вероятно, больше предела растворимости в монокристаллическом блочном материале. В предположении, что оставшийся кислород повышенной концентрации преимущественно связан с растворенным кислородом в аморфизированном слое кремния ( а не с фазовыми включениями окисла), можно провести послойный анализ кислородных пиков поглощения по мере стравливания поверхностных слоев кремния и считать, что изменение названных пиков отражает толщинное распределение дефектности названного слоя. Как показал эллипсометрический контроль остаточных окислов, с помощью водных растворов плавиковой кислоты можно снять фактически все оксидные включения, выходящие на поверхность. [39]
Страницы: 1 2 3