Высоковакуумный вентиль

Cтраница 2

Схема лабораторной установки к работе с омегатронным прибором ИПДО-1. [16]

РВН-20: 2 - форвакуумный вентиль; 3 - высоковакуумный вентиль: 4 - полупроводниковая ловушка ТВЛ-100; 5 - стеклянная ловушка - 6 - вакуумметр ВИТ-1А; 7 - манометры ЛМ-2 и ЛТ-2: 8 - омегатрон РМО-4С; 9 - магнит; 10 - самопишущий потенциометр ЭПП-09; / / - измерительный блок ИПДО-1; 12 - блок питания ловушки; 13 - диффузионный насос Н-1 С. [17]

Вакуумная система ( рис. 7.46, б) отличается от предыдущей наличием высоковакуумного вентиля 3 на стороне высокого вакуума, линии байпасной ( вспомогательной) откачки с вентилем / /, форвакуумного бачка 7 и клапана 8 аварийного закрытия. Высоковакуумный вентиль 3 изолирует вакуумную систему от контакта с атмосферой во время установки нового изделия. Применение байпасной линии с вентилем / / позволяет исключить непроизводительные потери времени на охлаждение и разогрев пароструйного диффузионного насоса. При откачке воздуха из прибора через байпасную магистраль пароструйный диффузионный насос / работает на форвакуумный бачок 7, который отделен в это время от механического вакуумного насоса 9 клапаном 8 аварийного закрытия. Клапан 8 выполняет роль защитного устройства, предотвращающего прорыв атмосферы и попадание масла из механического вакуумного насоса в пароструйный при обесточивании вакуумной установки. С целью исключения попадания масла из механического вакуумного насоса в клапан 8 и вентиль / У иногда предусматривают вентиль 12, с помощью которого при выключении установки пространство над входным патрубком механического вакуумного насоса сообщается с атмосферой. [18]

Схема лабораторной установки к работе. [19]

ВН-2; 2 - паромасляный диффузионный насос Н-5 С; 3 - переходный вакуумный объем; 4 - высоковакуумный вентиль; 5 - вакуумметр ВИТ-1А; в - манометры ЛТ-2 и ЛМ-2: 7 - полупроводниковая ловушка ТВЛ-300; 8 - манометр ИМ-12; 9 - насос электроразрядный магнитный НЭМ-300; 10 - вакуумметр ВИ-12; 11 - блок питания к магниторазрядному насосу БПНЭМ-300; 12 - пульт включения вспомогательных насосов. [20]

Схема напылительной линии для производства резисторов. [21]

Откачка каждой высоковакуумной камеры осуществляется индивидуальной вакуумной системой, состоящей из механического насоса, паромасляного насоса, охлаждаемой фреоном ловушки и высоковакуумного вентиля. [22]

Влияние загрязнений было сведено до минимума путем изолирования реакционного сосуда от остальной части системы с помощью охлаждаемых ловушек ( ловушку на линии откачивания реакционного сосуда охлаждали жидким азотом, а другие ловушки - смесью сухого льда и ацетона) и металлических высоковакуумных вентилей, которые можно было обезгазить нагреванием. При проведении опыта небольшие количества реагирующих газов и продуктов их взаимодействия путем соответствующего поворота металлического вентиля вводили в масс-спектрометр для определения константы скорости реакции. Припаянный к реакционному сосуду ионизационный манометр ( не показан на рисунке), позволял контролировать вакуум, а напыленный молибденовый геттер ( рис. 1) служил для улучшения вакуума и уменьшения парциального давления остаточного кислорода. Трехступенчатый диффузионный масляный насос из стекла пирекс, соединенный последовательно с механическим масляным насосом, был припаян к двум ловушкам из стекла пирекс, помещенным на обеих линиях откачивания. [23]

Для обнаружения течи в вакуумных аппаратах с диффузионным насосом контрольную трубку можно подсоединить как к высоковакуумной, так и к форвакуумной частям; время обнаружения течи получается наиболее коротким, если контрольную трубку присоединять в области высокого вакуума, лучше всего между диффузионным насосом и откачиваемым сосудом, например у высоковакуумного вентиля. [24]

Схема лабораторной установки к работе с насосом СИН-5-4. [26]

При выполнении работы необходимо включить механический насос и, откачав систему до давления 10 - 2 тор, включить напряжение накала подогревателя насоса Н-5 С. Через 20 - 30 мин открыть высоковакуумный вентиль и измерить вакуум в системе. [27]

Такие устройства называют вентилями. Наряду с вентилями других типов ( электронными высоковакуумными вентилями, полупроводниковыми твердыми вентилями) в технике обширное применение находят ионные вентили. [28]

Для получения вакуумноплотных систем при конструировании отдельных деталей масс-спектрометра стараются применять листовой металл горячего проката и цельнотянутые бесшовные трубы. Для основных частей масс-анализатора, ионного источника, высоковакуумных вентилей, разъемных фланцев применяют: нержавеющую сталь, бескислородную медь, высококачественную листовую сталь различных марок, нихром, тантал, никель, ковар и др. Применение литых деталей и других пористых материалов, как правило, не допускается из-за их интенсивного гажения и большой сорбционной способности. [29]

Эта система состоит из двух отдельных частей: газовой линии и собственно проектора. Обе части могут откачиваться независимо ртутными диффузионными насосами и разделены высоковакуумным вентилем У4, который служит для регулировки пуска газа на образец. В газовой линии давление гелия или исследуемого газа регулируется вентилями V или V2, ведущими к источнику спектроскопически чистого газа ( Airco); вентилем 1 / 3 линия связана с насосами. [30]

Страницы: 1 2 3