Режим - проявление
Cтраница 2
Эти эфиры давно патентуются в литературе в качестве основных компонентов фоторезистов, поскольку композиции из смесей хинондиазида и полимера теряют при щелочном проявлении часть полимера, кроме того при работе с ними необходимо строго соблюдать режимы проявления и состав проявителей. Однако этерифицированные смолы из-за уменьшения числа гидроксильных групп менее активны в щелочном проявлении, у них понижена адгезия к подложке ( в частности, к алюминию), что уменьшает стойкость к любым обработкам, хотя и повышена гидрофобность, а следовательно, сродство к гидрофобным краскам. В поисках оптимальных вариантов таких эфиров полимеров патентуются разнообразные смолы и условия их этерификации, Так, чешские исследователи используют в композиции смесь кре-золо-формальдегидной смолы, этерифицированной фталевой, янтарной или другой кислотой, и НС, этерифицированной 5-сульфо-кислотой диазонафталинона; получают резист, пригодный для создания печатных форм [ пат. Тот же светочувствительный компонент в смеси с неполным ацетатом целлюлозы и крезольным новолаком создает резистный слой, стойкий к различным травителям и в гальванических ваннах [ пат. [16]
Плотные желтые фильтры обычно используют для того, чтобы усилить разницу в яркости неба и светлых облаков. Однако эта разница зависит не только от цвета неба и плотности фильтра, но и от режима проявления пленки. При использовании мягких пленок, коротком времени проявления или при использовании мягко работающих ( например, сверхмелкозернистых) проявителей все различия в яркостях снимаемых объектов на негативе уменьшаются. Соответственно уменьшается и разница в плотности изображения неба и облаков. Если заранее известно, что негатив будет проявлен - до малой степени контрастности, то для заметного понижения яркости неба на отпечатке можно использовать более плотный фильтр. [17]
 |
Теоретические профили. [18] |
На рис. 5 - 34 показаны рассчитанные профили элементов для двух времен проявления ( В. Следовательно, результат воспроизведения изображения элементов пленкой фоторезиста можно корректировать за счет выбора соответствующих рабочей дозе экспозиции режимов проявления. [19]
Фотографическое уменьшение и репродуцирование бинарных голограмм легче и более точно, чем серых голограмм. На качество бинарной голограммы совершенно не влияют нелинейные фотографические эффекты, поэтому в процессе фотоуменьшения бинарных голограмм требуется значительно менее строгий контроль величины экспозиции и режима проявления. [20]
Скорость записи осциллографических ЭЛТ измеряется путем фотографирования однократно высвечиваемой электронным лучом строки ( при заданной скорости перемещения электронного луча) с последующим измерением степени почернения изображения строки на фотоматериале; эта степень не должна быть менее заданной. При этом в технической документации указываются не только электрический режим на электродах ЭЛТ, но и относительное отверстие объекта, светочувствительность применяемого фотоматериала, рецепт проявителя и режим проявления. [21]
Резистный слой довольно чувствителен к режиму проявления. Эта чувствительность возрастает с уменьшением количества хинондиазида ( светочувствительность при этом растет) и при введении ангидридов циклических кислот, которые также повышают светочувствительность Для снижения чувствительности к режиму проявления, повышения механической прочности слоя и его олеофильности в него ььодят наряду с ангидридом циклической кислоты до 50 % наполнителя - аэросила с размером частиц 500 мкм и менее [ пат. [22]
Рекомендуемое обычно время проявления - 3 мин при 20 С. Изображение очень медленно появляется в течение первых 2 мин и очень быстро чернеет за последнюю минуту. Если экспозиция и режим проявления выбраны правильно, то черные области полностью непрозрачны. [23]
Резистный слой довольно чувствителен к режиму проявления. Эта чувствительность возрастает с уменьшением количества хинондиазида ( светочувствительность при этом растет) и при введении ангидридов циклических кислот, которые также повышают светочувствительность. Для снижения чувствительности к режиму проявления, повышения механической прочности слоя и его олеофильности в него вводят наряду с ангидридом циклической кислоты до 50 % наполнителя - аэросила с размером частиц 500 мкм и менее [ пат. [24]
В первом случае ширина фонограммы меняется, а прозрачность остается постоянной, во втором - при неизменной ширине фонограммы меняется ее прозрачность. Преимущество способа переменной плотности - более широкая полоса частот, так как он менее критичен к точности установки пишущего штриха. Но при записи способом переменной плотности требуется тщательный подбор режима проявления, при отступлении от него увеличиваются нелинейные искажения. [26]
Это объясняется не только тем, что только очень небольшая часть приборов серийного производства, предназначенных для съемки методом Теплера, снабжается специальной приставкой для цветного фотографирования, но и отсутствием высокочувствительного цветного фотографического материала. Последнее приходится в некоторой мере компенсировать выбором источника света и режимом проявления пленки, обеспечивая таким образом регистрацию быстропротекающего процесса на фотографический материал низкой чувствительности. [27]
Изложенный метод расчета турбулентного пограничного слоя на пластине построен на эмпирической зависимости, полученной в опытах с гладкими пластинами. В практических условиях течение вдоль пластины ( поверхности крыла, лопасти, корпуса) чаще всего не является гидравлически гладким. Как и течение в трубе, любое течение в турбулентном пограничном слое на шероховатой поверхности можно отнести к одному из трех режимов: гидравлически гладкому, при котором высота выступов поверхности не влияет на сопротивление; переходному или режиму неполного проявления шероховатости, при котором на коэффициент сопротивления влияют как число Рейнольдса, так и шероховатость; режиму полного проявления шероховатости или квадратичному, при котором коэффициент сопротивления зависит только от шероховатости. [28]
Изложенный метод расчета турбулентного пограничного слоя на пластине построен на эмпирической зависимости, полученной в опытах с гладкими пластинами. В практических условиях течение вдоль пластины ( поверхности крыла, лопасти, корпуса) чаще всего не является гидравлически гладким. Как и течение в трубе, любое течение в турбулентном пограничном слое на шероховатой поверхности можно отнести к одному из трех режимов: гидравлически гладкому, при котором высота выступов шероховатости не влияет на сопротивление; переходному или режиму неполного проявления шероховатости, при котором на величину коэффициента сопротивления влияют как число Рейнольдса, так и шероховатость; режиму полного проявления шероховатости или квадратичному, при котором коэффициент сопротивления зависит только от шероховатости. [29]
В заключение следует отметить, что в целом для технологии важна воспроизводимость структурных элементов рельефа - критерий, называемый в англоязычной литературе Lltie width control. Требуемый размер элементов микрорельефа нужно удерживать в определенных пределах на всей площади подложки и в течение всего технологического процесса. На воспроизводимость элементов микрорельефа оказывают влияние набухание резиста, а также следующие факторы экспозиционных устройств: механическая стабильность системы, качество оптики, стабильность источника излучения, форма пучка излучения, размер элементов маски; и технологии: однородность и толщина слоя резиста, режим проявления, пред - и постэкспозиционной термообработки и травления, условия плазменного удаления вуали. [30]
Страницы: 1 2 3