Режим - распыление
Cтраница 3
Метод катодного ( или ионно-плазменного) распыления имеет ряд достоинств, к числу которых относится возможность при сравнительно низкой температуре получать пленки из таких тугоплавких металлов, как вольфрам, молибден, тантал и др.; получать пленки из сплавов, более однородные по составу и более равномерные по толщине, чем при термическом испарении в вакууме. Адгезия пленок при ионном распылении лучше, и сами пленки имеют состав, более близкий к составу исходного материала. Процесс распыления практически безынерционен, режим распыления сравнительно легко регулируется, и весь процесс в целом легче автоматизировать, чем процесс термического испарения в вакууме. [31]
В полученном слое кроме SiO2 содержатся включения Si и SiO, размер которых зависит от парциального давления кислорода в газовой смеси. На качество и примесный состав оксида большое влияние оказывает чистота кислорода и кремния-катода. Недопустимо и наличие поверхностных загрязнений катода, для очистки которого применяют режим распыления аргоном при экранированной подложке. [32]
Аэрозоли или распыленные СОТС представляют собой полидисперсные гетерогенные системы, в которых дисперсной фазой являются сферические движущиеся капли жидкости. Специфические свойства аэрозолей обусловлены в основном их полидисперсностью, поэтому наиболее естественным признаком классификации таких систем является их дисперсность. Аэрозоль может быть системой грубой, коллоидной и аналитической дисперсности. Дисперсность аэрозолей сложным образом зависит от физико-технических свойств распыляемой жидкости, конструкции сопла, способа и режима распыления. Воздушные аэрозоли получают из любых жидкостей. Существующие устройства позволяют распыливать грубодисперсные СОТС. [33]
Вследствие того, что покрытие, полученное путем металлизации, отличается всегда некоторой пористостью, возникает возможность проникновения электролита сквозь поры покрытия к основному металлу. В результате начинается разрушение основного металла ( железа), которое протекает весьма интенсивно. Продукты коррозии железа постепенно отделяют покрытие и способствуют быстрому распространению коррозии под слоем покрытия. Для надежной защиты железа от коррозии при помощи металлиза-ционных покрытий из металлов, имеющих электроположительный потенциал по отношению к железу, необходимо стремиться к получению беспористого покрытия. Для достижения этого следует применять режимы распыления, которые обеспечивали бы получение максимальной плотности и непроницаемости покрытия. Кроме того, для увеличения плотности покрытия необходима последующая обработка его, включающая химическую обработку, пропитку, проковку и дробеструйную обработку. [34]
 |
Схема процесса монодисперсного дробления жидкости вращающимся диском при обдуве его соосным потоком воздуха. [35] |
Жидкость поступает в центр вращающегося диска непрерывной струйкой и растекается в виде тонкой пленки, смачивая всю его поверхность. На кромке диска образуется жидкий тор. В тех местах, где этот тор наиболее легко теряет устойчивость под действием случайных возмущений, возникают выпуклости, превращающиеся в отростки. Эти отростки растут, вытягиваются и сбрасываются с кромки центробежными силами в виде приблизительно одинаковых основных капель. Наряду с основными каплями из перемычек между ними образуются более мелкие капли-спутники. Этот процесс ( первый монодисперсный режим распыления) реализуется лишь при очень малых расходах жидкости ( Q) и при хорошем смачивании ею поверхности вращающегося диска. [36]
Страницы: 1 2 3