Cтраница 2
Изменяя Djar Aq амплитуду и частоту колебаний, можно на обрабатываемой поверхности получить требуемый рисунок. [16]
![]() |
Нанесение пасты через трафарет. [17] |
Металлические маски получают из фольги толщиной от 25 до 125 мкм, на которой вытравливается требуемый рисунок схемы. Затем фольга соединяется с обычной сеткой из нержавеющей стали. [18]
![]() |
Детали резинового сапога. [19] |
Задник рабочей обуви или резиновых сапог, собираемых вручную, обычно предварительно формуют для получения требуемого рисунка, размера и формы. Стельку и задник изготавливают из отходов невулканизованной прорезиненной ткани, которую перемалывают на вальцах и раскатывают до требуемой толщины или наносят на ткань. [20]
![]() |
Схема технологического процесса изготовления гибридных толстопленочных ИМС. [21] |
Процесс изготовления толстопленочных микросхем начинают с подготовки поверхности подложки и трафаретов, затем на подложку наносят требуемый рисунок слоев. После каждого цикла нанесения соответствующего слоя последний обжигают для закрепления его на подложке и придания заданных свойств материалу слоя. Поскольку температура обжига проводящих, резистивных и диэлектрических паст различна, последовательность нанесения слоев должна быть вполне определенной. [22]
На сетку нанесена пленочная маска ( например, фоторезистивная), полученная с помощью фотолитографии и задающая требуемый рисунок. Минимальные размеры формируемых элементов ( разрешающая способность) - сотни микрометров, что существенно больше, чем в тонкопленочной технологии, поэтому плотность элементов невысока. [23]
![]() |
Схема проекционной электронолитографии. [24] |
На кварцевую пластину ( прозрачную для ультрафиолетового света) наносят пленку титана, затем методом обычной фотолитографии из пленки титана создают требуемый рисунок элементов и окисляют титан до двуокиси титана. Ее специфическим свойством является сильное поглощение ультрафиолетового света. Затем напыляют сплошной слой палладия, который обладает специфическим свойством чувствительного к ультрафиолетовому свету фотозмиттера, устойчивого на воздухе. Получившийся трафаретный фотокатод представляет собой электронно-оптический эквивалент маски, используемой в фотооптическом процессе. Проекционная система исключает возможность механического износа маски или механического повреждения кремниевой подложки. Поэтому фотокатод-маска имеет большой срок службы и ее необходимо лишь обновить, когда палладиевая пленка снизит свою эмиссию. [25]
Вышитые ковры и гобелены характеризуются тем, что они делаются на тканой основе ( обычно канва с квадратными ячейками), на которой требуемый рисунок заполняется вышивкой, используя для этого много разноцветных ниток. [26]
В принципе фотошаблон может быть изготовлен из любого непрозрачного для УФ излучения материала, в котором можно было бы реализовать прозрачные участки в соответствии с конфигурацией требуемого рисунка слоя ИМС. В виду указанных ниже специфических особенностей и требований к фотошаблонам чаще всего в качестве последних применяют пластины из оптического стекла с расположенными на его поверхности непрозрачными ( оптически плотными) элементами, получаемыми фотографическим или иным способом. [27]
Обувь формуют в ходе единственной операции на вулканизационных прессах, основными узлами которых являются две колодки, две литьевые формы с ползунами, с соответствующей формующей полостью для получения требуемого рисунка и толщины, а также рельефная форма для подошвы. Формовщику требуется только пять деталей: предварительно сформованная тканевая подкладка по форме колодки, заготовка подошвы, резиновое голенище, резиновая союзка и уплотняющий слой. Иногда используют монолитную резиновую деталь - голенище с союзкой. Ткань подкладки сначала покрывают резиновой смесью, затем предварительно вулканизуют. Голенища, союзки и стельки, вырубленные из предварительно вулканизованного рулона, обрабатываются вместе для формирования подкладки сапога. Эта подкладка должна обладать достаточной растяжимостью, чтобы формовщик мог натянуть ее на колодку и при этом избежать образования складок. Могут также применяться подкладки из трикотажной ткани, соответствующим образом покрытые резиновой смесью. Смеси для резинового голенища и союзки каландруют на профилированном валке и вырубают по форме. Смесь для уплотняющего слоя каландруют или раскатывают на вальцах и вырубают для получения нужной формы. Для хорошего формования тонких деталей изделия необходимо правильное распределение материала в форме. Экономичный метод подготовки заготовки подошвы - это применение специального оборудования ( например, BarwellPrecision Performer), позволяющего получать предварительно сформованную подошву точных размеров. [28]
Заданное расположение отверстий; через-которые проводится диффузия, и их конфигурация обеспечиваются с помощью фоточувствительного слоя - фоторезиста, на котором методом фотопечати ( засветкой через фотошаблон и последующим проявлением) получают требуемый рисунок. После этого производят травление слоя SiO2, не защищенного фоторезистом, плавиковой кислотой ( она не действует на фоторезист); в результате образуются окна, через которые проводят диффузию примеси. Фотооригинал изготовляют с помощью координатографа на стекле, покрытом пленкой нитроэмали. Координатограф вычерчивает на стекле рисунок микросхемы, удаляя в необходимых местах нитроэмаль. Существующие координатографы позволяют получать точность отсчета и определения координат соответственно 12 5 и 26 мкм. [29]
Термическое испарение в вакууме широко используется для изготовления пленочных микроэлементов и схем. Получение требуемого рисунка того или иного слоя пленочной микросхемы производится напылением испаряемого вещества через трафарет, плотно прижатый к подложке. [30]