Поперечное сечение - луч
Cтраница 3
 |
Схема установки электронно-лучевого экспонирования методом сканирования. [31] |
Ускоренные я сфокусированные электроны проходят сквозь отверстие в аноде и движутся далее в эквипотенциальном пространстве с постоянной скоростью. Короткофокусная магнитная линза 4 фокусирует луч в пятно диаметром примерно 0 5 мкм. При этом пучок электронов обрезается диафрагмами 5, облегчающими фокусировку за счет отражения краевых рассеянных электронов. Устройство с корректирующими катушками ( стигматор) 6 позволяет исправлять поперечное сечение луча до правильного круга в тех случаях, когда возникает искажение формы из-за дефектов изготовления полюсных наконечников магнитных линз. [32]
Управляя мощностью и энергией лазерного излучения, следует регулировать их по возможности плавно в пределах интервалов, необходимых для решения задачи. Для этого прежде всего может быть использована модуляция интенсивности по накачке: в газовых лазерах - за счет изменения тока разряда, в инжек-ционных полупроводниках - за счет изменения тока накачки, в твердотельных - за счет изменения тока разряда в лампах. Таким образом, мощность и энергия излучения могут регулироваться в широких пределах, начиная от порога генерации до максимального значения. Однако при изменении интенсивности накачки одновременно с изменением мощности луча изменяются и другие его параметры - модовый состав излучения и распределение интенсивности по поперечному сечению луча. В твердотельных лазерах при изменении энергии накачки сильно изменяется временная структура. [33]
Они имеют несколько преимуществ. Большинство источников света показывает изменение интенсивности как по времени, так и по всей освещенной площади для всякого луча, проходящего сквозь реакционный сосуд. Термопары или фотоэлементы должны использоваться таким образом, чтобы получалось суммирование по времени интенсивности и освещенной площади так, что измерялось бы общее число квантов, падающих на реакционный сосуд. Для выполнения этой задачи нужно систематически перемещать светоизмерительный прибор по всему поперечному сечению луча, чтобы можно было определить общее количество света, а затем следует изобразить интенсивность в виде функции от времени и измерить площадь кривой. Обе эти операции утомительны и могут приводить к ошибкам. Химические же актинометры подходящего типа суммируют излучение по времени и интенсивности, а если они применяются в камерах достаточно больших, чтобы захватить луч света целиком, то просуммируют также и по освещенной лучом площади. [34]
 |
Рентгеновский дифоактометр Брэгга - Брентано. [35] |
В работе с тонкими пленками обычно используют порошковый метод с регистрацией на дифрактометрах. В этих приборах дифрагируемое излучение регистрируется счетчиками, перемещающимися в пределах диапазона углов отражений. Интенсивности регистрируются на синхронно движущейся ленте или другими способами. Важной особенностью дифрактометров является их способность фокусировать в резкую дифракционную линию излучение, которое отражается от большой поверхности образца согласно брэгговскому условию. Это значительно увеличивает чувствительность и отношение сигнал / шум. Если рентгеновские лучи расходятся из точки на окружности круга Роуланда и падают на образец, тогда все лучи, дифрагированные в разных участках образца от одного и того же семейства плоскостей ( h, k, I), снова пересекаются и регистрируются на этом круге. Источник рентгеновских лучей или может быть расположен непосредственно на этом круге, или наименьшее поперечное сечение луча монохроматора может быть использовано как точка, из которой возникают падающие рентгеновские лучи. В случае плоского образца его поверхность размещают таким образом, чтобы она касалась этого круга. Наконец, во время перемещения по окружности детектор должен быть обращен к образцу. [36]
Страницы: 1 2 3