Cтраница 2
В качестве источников нагрева при создании зоны расплава могут быть использованы: радиационный, электронно-лучевой, электродуговой, индукционный и др. Необходимым условием при выборе источника нагрева является исключение ( или минимальная) возможности загрязнения стержня кремния. [16]
При этом кристалл как бы вытягивается из зоны расплава, причем процессы кристаллизации и плавления шихты происходят одновременно. Кристалл, растущий сверху расплава, защищает его от испарения фторидов, что создает условия для получения слюды из однородного расплава. Указанный способ с перемещением вверх наиболее эффективен при высоком коэффициенте заполнения. При кристаллизации в контейнере, частично заполненном расплавом, образуется кристалл, занимающий лишь часть пространства над расплавом, поэтому растворенные газы выделяются в пустоты между кристаллами. Скорость подъема должна соответствовать скорости стабильного роста кристаллов и зависеть от заполнения и размеров контейнера. При скорости протяжки 1 мм / ч в контейнере диаметром 3 см и длиной 80 см с заполнением 95 % были получены монокристальные ленты фтор-флогопита длиной до 30 см. Зона геометрического отбора затравки в этом случае составила 15 - 20 см. Основные дефекты в кристаллах - газовые пузырьки. [17]
![]() |
Схема зонной плавки. [18] |
В Не Расплава: зон - ширина зоны расплава, х - масса примеси во всем образце. [19]
![]() |
Схематический разрез неподвижной трехфазной печи для плавки электрокорунда на выпуск. [20] |
Электроды служат для подвода электрического тока в зону расплава. Потом, впервые в мировой практике абразивного производства в Советском Союзе было освоено применение самоспекающихся электродов ( рис. 7), которые не требуют прессования, а их обжиг производится при работе печи. [21]
![]() |
Установка для вытягивания монокристаллов кремния из расплава.| Схема установки для бестигельной зонной плавки кремния. [22] |
После расплавления токами высокой частоты определенного участка стержня зона расплава кремния, поддерживаемая поверхностным натяжением, в результате перемещения слитка или индуктора перемещается с одного конца слитка к другому. Скорость перемещения может изменяться в пределах от 0 3 до 12 мм / мин. [23]
![]() |
Плазмотрон установки Монокристалл ПД-3. [24] |
С другой стороны, для обеспечения равномерного прогрева зоны расплава в радиальном направлении и уменьшения кривизны фронта кристаллизации необходимо иметь более широкую дугу вблизи анода. [25]
Возрастание скорости вращения растущего монокристалла приводит к увеличению диаметра зоны расплава у фронта кристаллизации - зона расплава как бы распухает. [27]
![]() |
Фотография большой установки зонной плавки. [28] |
Было найдено, что большинство примесей двигаются в направлении зоны расплава, однако иногда примеси с высокой температурой плавления двигаются в противоположном направлении. Нагреватели передвигаются вниз вдоль трубок при помощи червячного устройства со скоростью, регулируемой оборотами мотора; обычно эта скорость равна 2 5 см / час. [29]
Предположение о том, что межвитковый объем шнека в зоне расплава ( разгрузки) должен более или менее резко уменьшаться для исключения вакуолей, или воздушных пузырей в массе, на практике не подтвердилось. [30]