Cтраница 5
Как только стало ясно, что полупроводниковая память может превзойти систему памяти на магнитных доменах как с точки зрения технологии, так и стоимости, возникла необходимость в разработке методов изготовления субмикронных элементов и контроля ширины линий на рельефных поверхностях кремниевых подложек. [61]