Cтраница 5
Наличие двух источников постоянного напряжения дает возможность посредством их переключения подавать на структуру напряжение нужной полярности и значения. У и регистрируется самописцем Сп с временной разверткой. Измерение происходит в несколько этапов. Затем на МДП-структуру подается напряжение от источника ИН, соответствующее условию плоских зон или слабому обогащению, после чего переключением на источник ИН2 структура переводится в состояние глубокого обеднения. Во время измерений образец должен быть тщательно затемнен. Самописец Сп регистрирует зависимость емкости структуры во времени. В том случае, когда время релаксации инверсного слоя невелико ( меньше 0 1 с), в качестве источника напряжения, переводящего структуру в состояние глубокого обеднения, применяют генератор прямоугольных импульсов, а напряжение регистрируют с помощью осциллографа. Генератор прямоугольных импульсов включают последовательно с источником внешнего напряжения, а синхронизация осциллографа осуществляется импульсами генератора. [61]
В простейшем варианте температурный метод Грея - Брауна заключается в следующем. Рассмотрим для определенности наиболее употребляемый. Поскольку при понижении температуры уровень Ферми смещается ближе к краю С-зоны, то для создания условия плоских зон необходимо приложить к электроду большее положительное напряжение. Это значит, что вся С ( V) - кривая сместилась в область положительных V. Для идеальной беззарядовой) системы МДП напряжение плоских зон, очевидно, равно нулю и не изменяется с температурой, поскольку в этом случае потенциал во всей системе одинаков. При смещении уровня Ферми к С-зоне некоторые из поверхностных состояний дополнительно заряжаются электронным зарядом, а для его компенсации необходимо, как уже отмечалось, увеличить положительное смещение. [62]