Cтраница 4
Специфической особенностью работы вакуумных на-пылительных установок является резкое увеличение газовыделения каждый раз, как только начинается интенсивный прогрев очередного распыляемого материала. Это газовыделение должно быть скомпенсировано за счет большой скорости откачки используемого насоса. Кроме того, при циклической работе напылительной установки неизбежно периодическое сообщение ее рабочего объема с воздухом, имеющим высокую относительную влажность, вследствие чего стенки рабочей камеры и поверхности находящихся в ней механизмов могут сорбировать влагу. Эти обстоятельства заставляют предъявлять определенные требования к откачным средствам в части минимальной длительности пускового периода, большой скорости откачки и ее постоянства в широком диапазоне давлений, а также незначительного количества загрязнений, вносимых из насоса в откачиваемый объем. [46]
![]() |
Плунжеры, изготавливаемые по ОСТ 26 - 16 - 06 - 86. [47] |
На наружной поверхности плунжера обычно выполняются канавки. При определенных условиях ( большая обводненность, малые зазоры, большая скорость откачки) пленка откачиваемой жидкости в зазоре между плунжером и цилиндром начинает рваться, поэтому образуются местные зоны сухого трения и, как следствие, задиры плунжера и цилиндра. При этом откачиваемая жидкость, находящаяся в канавках при движении плунжера, восстанавливает пленку на внутренней поверхности цилиндра и улучшает условия трения пары плунжер - цилиндр. [48]
Следующая стадия ( второй этап) удаления газов осуществляется диффузионными насосами. Эти насосы нашли широкое распространение, так как они обеспечивают получение больших скоростей откачки ( до нескольких тысяч литров в секунду) при низких конечных давлениях. [49]
![]() |
Зависимость коэффициента подачи штанговой установки от скорости откачки. [50] |
Выше было показано, что силы гидродинамического трения возрастают пропорционально скорости откачки при прочих равных условиях. В результате скорость нисходящего движения штанговой колонны уменьшается, и при больших скоростях откачки происходит отставание полированного штока от головки балансира, что в дальнейшем приводит к удару и, как следствие, к снижению надежности колонны. Таким образом, скорость откачки и эффективности работы насосной установки находятся в некоторой противоречивой связи. Исходя из описанного, можно заключить, что оптимальной является максимальная скорость откачки, не допускающая отставания полированного штока от головки балансира. [51]
Выше было показано, что силы гидродинамического трения возрастают пропорционально скорости откачки при прочих равных условиях. В результате скорость нисходящего движения штанговой колонны уменьшается, и при больших скоростях откачки происходит отставание полированного штока от головки балансира, что в дальнейшем приводит к удару и, как следствие, к снижению надежности колонны. Таким образом, скорость откачки и эффективность работы насосной установки находятся в некоторой противоречивой связи. Исходя из описанного, можно заключить, что оптимальной является максимальная скорость откачки, не допускающая отставания полированного штока от головки балансира. [52]
Тот же метод поглощения газа, удаленного электрическим полем из откачиваемого объема, можно применить и при откачке больших объемов, но в этом случае нужно позаботиться, чтобы запас поглощающего вещества все время пополнялся. Для откачки электростатического ускорителя частиц за рубежом был разработан ионизационно-сорбционный насос с большой скоростью откачки. Кроме того, давление паров Ti и большинства его соединений очень низко. С помощью особого механизма, не показанного на рисунке, титановый стерженек непрерывно вдвигается в накаливаемый током графитовый тигелек, где испаряется. [53]
Эти температуры могут быть сближены путем увеличения скорости откачки и уменьшением скорости нагревания. Для качественных целей, например для определения порядка реакции, кривая давление - время при большой скорости откачки может заменить график изменения скорости выделения во времени. [54]
Насосы этой группы имеют следующие особенности: большое сечение впускного сопла ( обращенного или зонтичного типа), обеспечивающее большую скорость откачки газа; малый перепад давлений откачиваемого газа между разделенными струей пара частями насоса; несколько ступеней с постепенно уменьшающейся быстротой действия и соответственно возрастающей способностью выдерживать более значительные перепады давлений; низкое давление пара в струе за счет использования маломощных электронагревателей. [55]
![]() |
Многопозиционная конвейерная машина для откачки кинескопов. [56] |
Н-015 и подобранный к нему по быстроте откачки и предельному вакууму механический насос ВН-2М. Вакуумная система не имеет вентилей, сильфонов и длинных вакуумных трубопроводов ( впускной патрубок диффузионного насоса подсоединен непосредственно к откач-ному гнезду), что обеспечивает большую скорость откачки и низкое давление остаточных газов. [57]
Беннет [307] предлагает при получении инертных газов высокой чистоты применять стеклянные циркуляционные насосы. У стеклянного насоса много преимуществ, так как он не вносит загрязнений, может быть хорошо прогрет и легко работает в большом диапазоне давлений; в нем мало движущихся частей и у него большая скорость откачки - 2 л / мин при р 1 атм. [58]
Два ротора-лопасти синхронно вращаются внутри камеры в направлении, указанном стрелками, захватывают поступающий газ и выталкивают его. Между лопастями постоянно сохраняется небольшой зазор ( 0 1 - 0 15 мм), не уплотняемый маслом, благодаря чему такие насосы допускают большую скорость вращения ( до 3000 об / мин) и большую скорость откачки, св. Насосы работают вместе с масляными ротационными насосами, к-рыо для них являются форвакуумиьши. [60]