Слиток - германий
Cтраница 2
 |
Установка для ориентации слитков. [16] |
При производстве приборов процесс резки полупроводниковых материалов происходит дважды: слиток германия или кремния разрезают на пластины, а пластины разрезают на кристаллы - заготовки круглой или квадратной формы. [17]
 |
Установка для очистки германия зонной плавкой. [18] |
В результате нескольких проходов индукторов, например слева направо, можно получить слиток германия, у которого количество примесей уменьшится в левой части и увеличится в правой. Сравнительно чистая часть используется затем для последующего получения монокристалла. [19]
После проверки исходного материала производится операция его механической обработки, в процессе которой слиток германия разрезают на пластинки заданной формы. В настоящее время применяются различные способы резки, но основным критерием качества резки является отсутствие на поверхности среза трещин, которые могли бы распространяться в глубь монокристаллической заготовки. Такие трещины создают центры рекомбинации для электронов и дырок и приводят к дополнительной адсорбции примесей на поверхности германия, способствуя образованию проводящих каналов. Таким образом, здесь важно не только предотвратить поломку пластинок, но и сохранить высокое время жизни носителей заряда в полупроводнике и высокое сопротивление токам утечки. [20]
Если полученная двуокись недостаточно чиста ( о чем судят по удельному сопротивлению полученного из нее пробного слитка германия), то ее обрабатывают соляной кислотой, и весь цикл очистки тет-рахлорида повторяют снова. [21]
 |
Схемы установок для зонной плавки. [22] |
Первоначально применяют метод зонной плавки для тщательного удаления Посторонних примесей. Слиток германия, в виде цилиндра, помещенный в графитный тигель продолговатой формы в среде инертного газа ( водорода), нагревают в поле высокой частоты. Большинство примесей, таких как марганец, кремний, железо, никель, обладают более высокой растворимостью в жидком германии, чем в твердой фазе и поэтому по мере движения зона плавления все больше насыщается такими примесями. При медленном процессе кристаллизации примеси из расплава вытесняются из твердой в жидкую фазу. В результате, после прохождения расплавленной зоны вдоль всего слитка примеси оказываются скон-центрировайными в хвостовой части. [23]
В установке использован бестигельный способ испарения германия, обеспечивающий максимальную чистоту процесса. Цилиндрический слиток германия устанавливают на держателе и ведут испарение из середины верхней плоскости слитка. Для контроля тока электронного луча слиток германия заземляют через микроамперметр, установленный на пульте управления. [24]
Германий обладает чрезвычайно большой хрупкостью, вследствие чего он не может быть подвергнут никаким видам холодной и горячей обработки давлением. С помощью алмазной пилы слиток германия может быть распилен на тонкие пластинки. [25]
Германий обладает чрезвычайно большой хрупкостью, вследствие чего он не может быть подвергнут никаким видам холодной обработки давлением. С помощью алмазной пилы слиток германия может быть распилен на тонкие пластики. [26]
 |
Монокристалл германия с тремя транзисторными структурами. [27] |
На рис. 6 - 40 показан слиток германия с тремя тран -, зисторными структурами. [28]
При зонном плавлении слиток обычно помещается в угольную лодочку, заключенную в кварцевую трубу, по которой непрерывно циркулирует подходящий инертный газ, например аргон. При помощи узкого кольцевого нагревателя добиваются плавления небольшой части слитка германия и медленно перемещают расплавленную зону вдоль него. Газ служит для поддержания небольшого противодавления, чтобы предотвратить попадание в трубу извне нежелательных примесей и воздуха. [29]
 |
Вытягивание монокристалла. Находящийся в. [30] |
Страницы: 1 2 3