Cтраница 2
В проекционных системах используется излучение ртутных ламп, имеющее широкие полосы в ближней УФ и коротковолновой видимой области спектра. Если слой резиста толщиной d 2 мкм с показателем преломления п 1 6 экспонировать светом с длиной волны 436 нм с помощью объектива, имеющего апертуру А 0 28, то глубина резкости Аг такой системы составит Дг К / 2А2 fv 2 7 мкм, при этом, используя достижимые в реальных условиях оптимальные режимы обработок, удается получать линии шириной К / А 1 5 мкм. Имея в виду, что эффективная оптическая толщина слоя равна d / n - 1 25 мкм, то область допустимых ошибок резкости ( устойчивость системы к различному виду отклонений) составляет величину - 1 5 мкм. Если же при общей толщине МРС 2 мкм чувствительный слой будет иметь толщину 0 5 мкм, то, очевидно, резко возрастает устойчивость совокупного резистного слоя к различному виду отклонений при общем высоком AR МРС. [16]