Cтраница 2
Для обеспечения равновесного покрытия алюминием всей пластины и краев ступенек на окисле применяют не один источник, а несколько испарителей. На качество покрытия краев ступенек оказывает также влияние крутизна ступенек окисла, связанная с процессом фотолитографии. Толщина пленки алюминия обычно не превышает 1 мкм. В многослойных структурах первый слой металла является более тонким, чем последующие. Большое значение для отсутствия коротких замыканий между слоями металлизации имеет форма нижнего проводника: чем меньше угол подъема проводящей дорожки, тем меньше вероятность разрыва на нем диэлектрика. Для создания такой формы сечения токоведу-щих дорожек при удалении лишнего алюминия используют различные химические травители. [16]