Создание - рисунок
Cтраница 5
 |
Проводимость сплавов Si-Gc-B в зависимости от отношения содержаний 10 - 3 10 - г W J 1 GcH4 / ( SiH4 GcH4. Содержание В2Н6. [61] |
С в течение 30 мин наблюдалось-слабое увеличение проводимости, однако при этом они оставались аморфными. Помимо термической стабильности аморфный сплав Si-Ge - В проявляет очень высокую стойкость ко всем растворам кислот и щелочей, используемым в настоящее время в кремниевой технологии. Эти свойства нового сплава весьма благоприятны для разработки новых областей его применения в приборах на основе кремния. Для создания рисунка на пленках может быть использован ионный процесс. [62]
Страницы: 1 2 3 4 5