Cтраница 2
Состоит он в том, что узкая расплавленная зона, создаваемая зонным подогревом ( рис. ПО), медленно перемещается вдоль кристаллического стержня. Это достигается либо перемещением нагревателя, создающего зону повышенной температуры, либо протягиванием через печь самого стержня. Примеси, концентрирующиеся в расплавленной зоне ( при / С1), перемещаются вместе с ней к одному из концов стержня. При многократном повторении этой операции удается достичь весьма высокой степени чистоты. Наибольшее значение приобрел этот метод для очистки германия и кремния, но используется он и для удаления примесей из некоторых люми-несцирующих соединений класса АШВТ. Кроме того, зонная плавка применяется как способ получения кристаллов с равномерным распределением легирующих ( активирующих) примесей. [16]