Стадия - диффузия
Cтраница 2
 |
Двухзонная печь для диффузии фосфора. / - примесь. 2 -вытяжка. 3 - расходомеры. 4 - кварцевая труба. [16] |
В результате проведения второй стадии диффузии поверхностная концентрация фосфора снижается до 1020 ат / см3 или несколько больше, а глубина диффузионного слоя доводится до 90 - 120 мк. Вторая стадия диффузии фосфора может проводиться при температурах, лежащих в диапазоне 1 250 - 1350 С. [17]
 |
Двухзонная печь для диффузии фосфора. / - примесь. 2 -вытяжка. 3 - расходомеры. 4 - кварцевая труба. [18] |
В процессе проведения второй стадии диффузии фосфора в кремний проникает большое количество быстродиффундирующих примесей. [19]
На внешнедиффузионную стадию, стадию диффузии сорбируемых частиц в подвижной фазе, существенное влияние оказывает гидродинамический режим, при котором осуществляется сорбционный процесс. Скорость внутренней диффузии не зависит от гидродинамического режима, но на нее оказывает влияние ряд параметров, в особенности геометрических, характеризующих молекулярную диффузию внутри пор сорбента. [20]
 |
Выпотевание стабилизатора Ti-nuviu 326 из полиэтиленовой пленки толщиной 160 мкм при 20 С. [21] |
Испарение и вымывание добавки включают стадии диффузии к поверхности и удаления с поверхности. Задача о потере добавки в результате ее испарения была решена в работах [68, 76, 86, 87 ] для нескольких простейших случаев. Для упрощения принимали, что коэффициент диффузии добавки не зависит от ее концентрации и что скорость удаления ее с поверхности прямо пропорциональна концентрации на поверхности. [22]
Частоты средние и высокие, стадия диффузии является быстрой. Тогда фарадеевский импеданс представляется в виде последовательного соединения сопротивления разряда и С-цепочки, состоящей из параллельно включенных сопротивления рекомбинации и адсорбционной емкости. [23]
Адсорбционный процесс складывается из последовательно протекающих стадий диффузии молекул поглощаемого вещества из потока газа к внешней поверхности зерен адсорбента ( внешняя диффузия), проникновения достигших наружной поверхности зерен молекул внутри пористого зерна поглотителя к местам сорбции ( внутренняя диффузия) и собственно сорбции ( конденсации) молекул на внутренней поверхности зерен. [24]
Совмещение процесса окисления со второй стадией диффузии существенным образом затрудняет расчет распределения примесей в транзисторной структуре. Так как одновременно со второй стадией диффузии идет окисление, то бор, введенный в кремний во время первой стадии, частично переходит в окисел. Если диффузия идет достаточно быстро, то почти все атомы бора успеют перейти в более глубокие слои кремния прежде, чем поверхностные слои окислятся, если же диффузия идет слишком медленно, то в процессе окисления практически весь бор перейдет вместе с кремнием в растущий на поверхности кристалла слой SiO2 и диффузионный р-слой может вообще исчезнуть. [25]
В обоих случаях процесс характеризуется наличием стадий диффузии реагентов из потока к частице катализатора, диффузии реагентов внутри частицы катализатора к каталитически активным группам, химической реакции и обратной диффузии продуктов реакции в поток реагентов. Математическое описание подобных процессов приведено в гл. V и VI; там же рассмотрены закономерности изменения их селективности по сравнению с гомогенными процессами. [26]
Ограничение процесса удаления серы из коксов стадией диффузии подтверждается и всем комплексом сведений по физико-механическим, объемным, структурным и другим превращениям сернистых коксов на различных стадиях термической обработки. [27]
В заключение следует отметить, что замедленность стадии диффузии наблюдается при электроосаждении из неперемешиваемых электролитов, содержащих простые ионы таких металлов, как свинец, олово, висмут, серебро, медь, кадмий, таллий, для которых характерны высокие токи обмена. Однако при интенсивном перемешивании раствора диффузионные ограничения могут быть сняты и тогда проявляется замедленность стадии переноса электронов. Поэтому замедленность стадии диффузии является не особенностью механизма реакции, а определяется характером проведения процесса. [28]
Рассмотрите стационарно протекающую реакцию первого порядка, включающую стадию диффузии. [29]
I стадия диффузии В; 5 - II стадия диффузии Р и В; Ь - химическое никелирование; 7 - фотогравировка контактных областей и облуживание контактов; 8 - травление меза-структуры. [30]
Страницы: 1 2 3 4