Cтраница 4
С увеличением концентрации силана увеличивается и неоднородность роста пленок по толщине и плотность дефектов, представляющих собой включения Si, Si02, С. Включения Si02 обнаруживаются в инфракрасных спектрах пленок по максимуму поглощения при 1090 см-1, характерному для Si-О связи, и на микрофотографиях пленок ( см. рис. 3, в) по окнам, вытравленным во время приготовления просвечиваемого образца. Присутствие Si выявляется при расчете электронограмм и по микрофотографиям, видны вытравленные поры в пленке. Включениями углерода считались химически очень стойкие включения с аморфной структурой, по контрасту резко выделяющиеся на фоне аморфной пленки SiC. [46]
ZrCbuoH - Рентгенографическое исследование окалины показало, что кубическая фаза относительно устойчива на воздухе и при более длительном окислении, однако в этом случае постепенно превращается в моноклинную ZrO2 - фазу с потерей углерода, вследствие чего количество фазы ZrO yc уменьшается с увеличением температуры, хотя и обнаруживается наряду с фазой ZrOaaoH в широком интервале температур вплоть до 1200 С. Последнее может быть обусловлено также стабилизацией ZrO2Ky6 углеродом, диффундирующим в направлении границы окалина - воздух. Нитрид циркония обнаруживается также во внутреннем слое уже при низких температурах. Металлографические исследования указывают на многофазность окалины. Ближе к фазовой границе карбид - окалина прилегает слой углерода ( см. рис. 1), за ним следует тончайший слой фазы ZrOjxyo и основная часть окалины - ZrO2MOa с равномерно распределенными включениями углерода. Из-за значительного растворения углерода в решетке ZrO2 окалина имеет темно-серый цвет, который с ростом температуры до 1100 С становится еще более темным. Однако при 1200 С диффузия углерода в решетке ZrO2 и по границам зерен затруднена значительным спеканием, вследствие чего она становится более светлой, а углерод концентрируется в виде четкого тонкого слоя на фазовой границе карбид - окалина. Окалина, образованная при окислении HfC, также многофазна и представлена фазами НГСЬмон, составляющей внешний слой окалины, и HfN во внутренних слоях. [47]