Влияние - эффект - близость
Cтраница 2
Анализ, проведенный на основе описанного расчета на ЭВМ, позволил установить причины повышения температуры и получить точные зависимости температуры от изменений формы и размеров конструктивных элементов выключателя, а также от их взаимного расположения. Для учета токораспределения в проводниках и контактных элементах выключателя, испытывающих влияние эффекта близости, поверхностного и других специфических эффектов, необходимо совместное использование описанного метода тепловых цепей и метода конечных элементов или конечных разностей. [16]
Когда вхместо электронного луча применяется ионный луч, то на кремниевой подложке при использовании золота в металлизации рассеяние вторичных электронов и распространение их в слой резиста почти отсутствует. Чувствительность резиста ПММА при Н - ИОННОМ облучении с энергией 50 кэВ по сравнению с электронным пучком с энергией 20 кэВ увеличивается более чем в 10 раз. Это позволяет формировать рисунок с размером элементов 0 1 мкм, не ощущая влияния эффекта близости. Особенно большие возможности связаны с применением ионно-лучевой имплантации примесей В, As при больших дозах облучения, без использования маски. Ионно-лучевые методы обладают большими возможностями в плане использования в будущей технологии. [17]
 |
Картина магнитного поля в плоскости поперечного сечения двух параллельных проводников. [18] |
Области наибольшей плотности тока отмечены на рис. 10 - 5 жирными линиями. Вызываемое этим эффектом перераспределение тока по сечению проводов может увеличивать либо уменьшать потери энергии в них, что характеризуется коэффициентом эффекта близости кврб. Если коэффициент поверхностного эффекта всегда больше единицы, то коэффициент эффекта близости может быть как больше, так и меньше единицы; иначе говоря, эффект близости может как увеличивать, так и уменьшать общую неравномерность распределения тока по сечению, вследствие чего активное сопротивление проводника увеличивается или уменьшается по сравнению с сопротивлением переменному току уединенного проводника. Для прямоугольных сечений проводников величина кэ, 6 зависит от взаимного расположения проводников. Оптимальными для уменьшения активного сопротивления являются расстояния между шинами, равные примерно толщине шины. При расстоянии между фазами больше 8 - 10-кратного размера шин влияние эффекта близости на токораспределение по сечению проводников незначительно и с ним можно не считаться. [19]
Страницы: 1 2