Cтраница 3
![]() |
Плоскость спайности ( 100 поваренной соли, декорированная серебром при 293 К. Монокристалл расщеплен в вакууме при 293 К. [31] |
Расщепленная поверхность слюды на большом протяжении имеет совершенную структуру, и метод декорирования выявляет весьма низкую концентрацию топографических деталей. [32]
![]() |
Изменение плотности дислокаций но толщине слоя GaAsa. Pj T в зависимости от толщины переходного слоя.| Изменение холловской подвижности слоев. [33] |
Хлоридно-гибридная технология позволяет получать эпитаксиаль-ные слои с совершенной структурой. [34]
При этих гк образуются эпитаксиальные пленки с совершенной структурой. [35]
К важным особенностям НК относятся не только их совершенная структура, выгодные геометрические размеры и форма роста в виде нити или узкой ленты с четкой кристаллографической огранкой и ориентацией, но и возможность легирования в процессе роста, позволяющая в широких пределах изменять их электрические, магнитные, оптические и другие свойства. [36]
![]() |
Электроннограмма для пленки 0 - SiC, образованной при химическом превращении Si ( 110 при 950 С. Внешние полосы относятся к 0 - SIC, внутренние слабые полосы к Si. [37] |
Пленки, полученные при таких условиях, имеют совершенную структуру. Результаты Кана и Зуммер-града совпадают с термодинамическими положениями, подтверждающими, что ненасыщенные углеводороды, такие соединения как С Нг и С2Н4, являются наиболее соответствующими для образования SiC при химическом взаимодействии с кремнием. Углубляя это исследование, Кан 45 показал применимость метода превращения к эпитаксиальному росту Р - карбида кремния на изолирующих подложках, таких как сапфир. В эюм случае пленка SiC была получена превращением монокристаллической пленки Si на сапфире в оптимальных условиях. Наблюдалось, что эпитак-сия происходит при глубине превращения, равной 6000 А, при других глубинах происходит нарушение ориентации, пленка становится поликристаллической при глубине около 9000 А. Поверхность пленки SiC имеет зернистую структуру, которая по глубине заметно не изменяется. На рис. 13 представлена Электроннограмма и соответствующая микрофотография, полученная для пленки Р - SiC, образованной при превращении Si ( 100) на сапфире при 1100 С. [38]
Ткань WCA аналогична ткани WCB, но имеет менее совершенную структуру и не применяется вследствие этого в литьевых композициях. [39]
Большинство исследований двумерных систем в МДП-структурах выполнено на технологически совершенных структурах металл-двуокись кремния-кремний, хотя возрастает и число работ, посвященных изучению свойств МДП-структур на основе других, главным образом сложных, полупроводников. Он представляет собой плоский конденсатор; изменяя напряжение на одной из его обкладок, металлическом электроде, можно тем самым управлять проводимостью полупроводника - другой его обкладки. В настоящее время полевой транзистор является одним из основных элементов запоминающих и логических схем, используемых в вычислительных машинах. Первое предложение ( патенты Лилиенфилда и Хейла) относится к 1930 г. В 1948 г. Шокли и Пирсон исследовали свойства МДП-структуры [1641], послужившей прототипом большой серии приборов, которые изготавливались обычно из слабоокисляемого полупроводника, изолированного от металлического электрода органической пленкой. [40]
Все сказанное справедливо в применении к чистым веществам и совершенным структурам. [41]
Как известно [6], даже моно-кристалличеакий графит не обладает совершенной структурой. Для него характерна мозаичная структура, подтверждаемая раздробленностью и уширенном пятен на лауэ. [42]
Схема двукристального спектрометра ( моно-хроматор - первый кристалл с предельно совершенной структурой) позволяет определить разориентировку соседних блоков с угловым разрешением до 10 с. При исследовании поликристаллических металлов и сплавов такая прецизионность обычно не требуется. На рис. 5.38 показана типичная кривая качания, полученная [73] на дифрактометре УРС-50ИМ с гониометром ГУР-4 и трубкой БСВ-6 без применения монохроматора. [43]
Для полупроводниковых приборов и микросхем наиболее пригодны гладкие монокристаллические слои совершенной структуры и заданной концентрации легирующих примесей. [44]
Снижение подвижности объясняется как дополнительным рассеянием носителей на дефектах в менее совершенной структуре пленок на аморфной подложке, так и отклонением ориентации зерен от оптимальной, при которой базисная плоскость параллельна подложке. Отжиг пленок р - Bi05Sb15Te3 ( условия отжига указаны выше) повышает подвижность до значений 340 - 350 см2 / ( В-с) [172] за счет уменьшения влияния этих факторов. [45]