Cтраница 3
Внедренный ион при движении передает кинетическую энергию атомам решетки. Если переданная энергия превышает энергию связи атома в узле Еа, может быть выбит из узла и начать двигаться по кристаллу первичный атом. Если его энергия оказывается больше значения Ed, он способен перевести в междоузлия другие ( вторичные) атомы решетки. Их число и расположение зависят от характера распространения каскада, что определяется прежде всего структурой решетки. Часть освобожденных атомов попадает в каналы и может продвинуться на значительное расстояние за счет их фокусирующего действия, другая часть, деканалируясь, создает нарушения вдоль стенок канала. Форма и размеры дефектной области определяются также массой и энергией иона, массой атомов и температурой мишени. Если температура мишени достаточно высока, некоторые дефекты, такие, как атомы в междоузлиях и вакансии, могут аннигилировать в процессе миграции по кристаллу путем рекомбинации. Процессы аннигиляции дефектов часто протекают уже при комнатной температуре. [31]
Левин и Берри [315] установили распределение энергии в отрицательных ионах водорода, образующихся при бомбардировке поверхности вольфрама положительными ионами водорода. Юаса [522] изучал ионы газа полупроводниковых, полу металлических и металлических элементов; эти ионы получались при помощи высокочастотной искры. Мур [359] изучил диссоциацию окиси углерода, адсорбированной на поверхности молибдена и вольфрама, под воздействием медленных электронов; он нашел, что ионы кислорода образуются от 50 до 100 раз легче с поверхности, чем из объема. Флюит и соавторы [178] изучили фракционирование изотопов лития при распылении и нашли, что испарение типа, наблюдаемого в обычных экспериментах по дистилляции, играет лишь маленькую роль в процессе распыления. Ботанов [30] определил энергию связывания между электроном и стеклом № 46 в 3 5 - 4 эв. Фогель, Слабоспитц-кий и Карнаухов [183] определили зависимость эмиссии вторичных положительных и отрицательных ионов от энергии первичных частиц и температуры мишени для поверхности молибдена и ионов неона, аргона и криптона. Бредли, Аркинг и Бирс [68] исследовали эмиссию вторичных положительных ионов из платины. [32]