Cтраница 2
![]() |
Схема метода светового подвижного зонда. [16] |
Метод подвижного светового зонда широко применяется для измерения диффузионной длины носителей заряда в слитках германия. [17]
На рис. 2 - 20 изображена схема установки для измерения диффузионной длины этим методом. [18]
Так как метод измерения предполагает постоянство избыточной концентрации носителей заряда на поверхности, то скорость поверхностной рекомбинации не влияет на результаты измерения диффузионной длины. Кроме того, показано, что э4 фекты захвата основных носителей заряда и умеренный захват неосновных носителей заряда также не влияют на поверхностную фото - ЭДС. Это является важным преимуществом данного метода измерения. [19]
Для измерения диффузионной длины неосновных носителей заряда используют метод подвижного светового зонда с точечным регистрирующим контактом. Суть метода заключается в следующем. [20]
Таким образом, эффективность излучательной рекомбинации зависит от длины волны возбуждающего света. В основе данного метода измерения диффузионной длины лежит спектральная зависимость эффективности фотолюминесценции. [21]
Для регистрации применяются узкополосные измерительные усилители, настроенные на частоту модуляции света. Этот метод широко применяется для измерения диффузионной длины в слитках германия для диапазона значений L 0 1 - ь5 мм. [23]
В основе данного метода измерения диффузионной длины неосновных носителей заряда лежит измерение тока короткого замыкания p - n - перехода или структуры с барьером Шстки при освещении его светом. Преимущество метода состоит в возможности измерения малых диффузионных длин неосновных носителей заряда в тонких эпитаксиальных слоях. Метод использует принцип работы фотодиода. Рассмотрим данный метод применительно к эпитак-сиальным слоям арсенида галлия. [24]
Для получения световых прямоугольных импульсов достаточно большой длительности применяют различные механические модуляторы. В § 3.4 при описании метода измерения диффузионной длины уже упоминался механический модулятор, выполненный в виде диска с секторными вырезами, при вращении которого световой поток периодически пересекается секторами диска, осуществляя прямоугольную модуляцию света. Другие разновидности механических модуляторов состоят из зеркальных модуляторов и электродинамических затворов. В простейшем зеркальном модуляторе используется луч света, отраженный от вращающегося зеркала, который пересекает входную щель оптической системы, формируя прямоугольный световой импульс. [26]
Оказывается, что вид этих зависимостей для разных значений s различается незначительно. Поэтому скорость поверхностной рекомбинации носителей заряда этим способом обычно не измеряют. Экспериментальные данные сравнивают с теоретическими кривыми, полученными при s ( D / t) 1 / 2 или sx D. Измерения диффузионной длины проводят на образцах с очень малой или очень большой скоростью рекомбинации носителей заряда на поверхности. [27]