Cтраница 3
Электронная и ионная оптика представляет собой одно из направлений физической электроники и занимается проблемами формирования потоков заряженных частиц, управления ими, а также вопросами их применения. В самом названии отражен тот факт, что движение заряженных частиц в электромагнитных полях во многом подобно поведению световых лучей в неоднородных оптических средах. Хотя аналогия между классической механикой и геометрической оптикой была установлена Гамильтоном еще в первой половине прошлого столетия, миру пришлось ждать почти сто лет, прежде чем в 1926 г. X. Список приложений электронной и ионной оптики велик. Электроннолучевые трубки и мониторы, электронные микроскопы, ускорители частиц, масс-спектрометры, микроволновые генераторы и усилительные лампы, а также электронно-лучевые технологии ( такие, например, как сварка, сверление, плавка, резка, очистка, легирование) - все это хорошо известные классические приложения. Электронные и ионные микрозонды, анализаторы энергии, электронные спектрометры и ионные имплантаторы относятся к сравнительно недавним практическим результатам этого быстро развивающегося направления. [31]
Для фотолитографической обработки используются не сами фотооригиналы, а так называемые рабочие фотошаблоны, полученные копированием с фотооригинала. Во втором случае существенно уменьшается износ фотошаблонов, так как после 10 - 20-кратного непосредственного наложения они приходят в полную негодность. Для засветки фоторезиста при литографической обработке кроме света можно использовать рентгеновское излучение или пучок электронов. С помощью электронного пучка необходимые структуры формируются вообще без применения шаблонов. Здесь координаты топологического чертежа служат для позиционирования сфокусированного с высокой точностью электронного луча на полупроводниковом диске, покрытом слоем резиста. Электронный луч переносит топологический чертеж на диск. Правда, такой метод связан с большими затратами времени и применяется лишь в особых случаях. Однако при изготовлении шаблонов электронно-лучевая технология используется весьма широко. [32]