Плазмохимическая технология
Cтраница 1
Плазмохимическая технология позволяет получать тоцкие пленки, которые находят в настоящее время широкое применение в промышленности и главным образом - в микроэлектронике. Плазмохимические пленки могут быть кристаллическими и аморфными. [1]
Плазмохимическая технология уже сейчас позволяет получать материалы и вещества, обладающие ценными свойствами. [2]
 |
Схема СВЧ-установки плазмохимического синтеза. [3] |
Плазмохимическая технология обеспечивает масштабное получение ультрадисперсных порошков тугоплавких металлов ( W, Мо), соединений ( TIN, A1N, А12О3, SiC, Si3N4, Ti ( C N) и др.), а также композиционных объектов типа Si3N4 SiC, TiB2 TiN и др. В силу особенностей плазмохимического синтеза ( неизотермичность процесса, возможность коагуляции частиц и др.) распределение получаемых частиц по размерам в большинстве случаев достаточно широкое. [4]
В плазмохимической технологии используют как равновесную, так и неравновесную плазмы. [5]
В плазмохимической технологии применяют как равновесную плазму, так и неравновесную. [6]
В плазмохимической технологии используют как равновесную, так и неравновесную плазмы. [7]
Широкое распространение в плазмохимической технологии получили процессы с участием порошкообразных сырьевых материалов: производство дисперсных материалов, переработка веществ с целью придания им различных свойств, нанесение защитных покрытий и др. Подобные процессы реализуются подачей порошка через систему отверстий в зону высокотемпературной плазменной струи. [8]
Быстрое развитие плазмохимии и плазмохимической технологии за последнее десятилетне естественно вызвало потребность в сводке и анализе результатов, полученных в процессе научных исследований. Предлагаемая вниманию читателя книга имеет своей задачей в какой-ю степени удовлетворив эту похабность. В ней подробно рассмотрен широкий круг вопросов, связанных с генерацией низкотемпературной плазмы и с применением ее для проведения плазмохимиче-ских реакций. Эти вопросы освещены в книге в основном по американским источникам. [9]
Эта тенденция отчетливо проявляется в развитии высокотемпературной плазмохимической технологии. [10]
Для целого ряда физических исследований и технических приложений, например в плазмохимической технологии, требуются генераторы устойчивой низкотемпературной плазмы. [11]
Все это представляет значительный интерес как для исследователей в области плазмохимии, так и для поиска новых путей в плазмохимической технологии. Поскольку книга посвящена плаямохимической технологии, теоретические аспекты плазмохимии нашли в ней недостаточное освещение. В особенности это относится к кинетике и механизмам элементарных стадий плазмохимических реакций. По поводу этих вопросов необходимо сделать несколько замечаний. [12]
Специальное теоретическое и экспериментальное исследование проблемы закалки, играющей решающую роль для большинства квазиравновесных плазмохимических процессов, является основным в организации плазмохимической технологии. [13]
Однако следует всегда учитывать, что проблемы подготовки сырья и выделения целевого продукта остаются, а иногда именно они становятся главным препятствием на пути внедрения и освоения плазмохимической технологии. [14]
Плазмохимия-область химии, в которой изучаются химические процессы в низкотемпературной плазме 103 - 2 - 104 К при давлении 10 - 1 - 109Па, закономерности протекания реакций в плазме и основы плазмохимической технологии. [15]
Страницы: 1 2