Cтраница 3
![]() |
Блок-схема установки для анодного окисления кремния.| Схема электролитической ячейки для анодного окисления. [31] |
Для точного определения толщины оксидной пленки рекомендуется помимо двух целых пластин подвергнуть окислению так называемую ( контрольную пластину. [32]
Однако при увеличении толщины оксидной пленки падение напряжения на ней неизбежно возрастает. Предельные значения напряжения и, следовательно, толщины пленки достигаются к моменту ее пробоя. [33]
На процесс схватывания влияет толщина металлических и оксидных пленок в связи с неизменным присутствием на них адсорбированных пленок из внешней среды. Дело в том, что на разорванных участках толстых пленок, по-видимому, вследствие их большой пористости, загрязнения под нагрузкой остаются почти не выдавливаясь. Загрязнения с тонких пленок стекают и препятствуют схватыванию поверхностей. [34]
Существует два метода измерения толщины оксидной пленки на поверхности металла. [36]
Изменение концентрации кислорода по толщине оксидной пленки начиная с его парциального давления в окружающей среде до давления диссоциации оксида может сопровождаться и изменением дефектов оксида. Вследствие этого возникающая на поверхности металла оксидная пленка должна состоять из нескольких зон, каждая из которых имеет свои характерные диффузионные свойства. [37]
Ясно, что при химическом оксидировании толщина оксидных пленок будет невелика, так как по мере роста пленки металл будет изолироваться от взаимодействия с окислителем и скорость процесса станет определяться равенством скоростей роста и растворения пленки. При электрохимическом оксидировании процесс, как правило, проводят при потенциалах выделения кислорода, а по мере роста пленки повышают напряжение на ванне, компенсируя падение напряжения в пленке. Поэтому при электрохимическом оксидировании могут быть получены пленки значительной толщины. [39]
При анодной поляризации вследствие окисления растет толщина оксидной пленки, всегда покрывающей поверхность вентильных металлов, а вместе с не й возрастает переходное сопротивление на границе металл-диоксид. [40]
![]() |
Оксидная пленка. [41] |
На форму характеристик оказывает заметное влияние толщина оксидной пленки, причем при увеличении толщины повышается чувствительность к более высокой влажности и одновременно увеличивается постоянная времени ЭГД. [42]
![]() |
Изменение напряжения на ванне при глубоком оксидировании алюминия и его сплавов в сернокислом электролите. [43] |
Напряжение на ванне по мере увеличения толщины оксидной пленки увеличивается и достигает 40 - 80 в. [44]
Азотная кислота пассивирует алюминий, увеличивая толщину оксидной пленки. [45]