Толщина - диэлектрическая пленка
Cтраница 2
 |
Металлодиэлектрические волноводы. [16] |
В металлодиэлектрических волноводах при к0аЗ1 и Ко &31 поля волн низших типов ( парциальные плоские волны, формирующие волны низших типов, падают на стенки волновода под очень малыми углами скольжения 0) экранируются диэлектрической пленкой. Это позволяет уменьшить омические потери. Анализ, проведенный в [ 69, 70J, показал, что при толщине диэлектрической пленки ( рис. 3.1 в и г) бА0 ( 2п - - 1) / 4 ( в - I) 1 / 2 омические потери для волн низших типов могут быть существенно уменьшены по сравнению с потерями в обычных прямоугольных волноводах тех же размеров. [17]
 |
Мп. -. рофотогрпф.. я пленки, полученная с использованием эффекта Фарадея, показываются структуру ряби намагниченности. [18] |
В этом случае должны быть предприняты необходимые меры для получения максимального контраста. Наряду с улучшением качества измерительной аппаратуры, на пленку наносят диэлектрическое покрытие, которое, вследствие многократного отражения, усиливает эффект Керра. Для получения наибольшего усиления эффектов Керра и Фградея могут быть вычислены оптимальные показатели преломления и толщины диэлектрических пленок. [19]
Основное внимание в дальнейшем будет обращаться на замедленные волны типа ТМ, которые, как указывалось выше, представляют основной интерес для электронных приборов СВЧ. Длина щелей / в гребенчатой системе для волн типа ТМ должна быть меньше четверти длины волны в свободном пространстве. При этом каждая щель имеет индуктивное входное сопротивление. Соответственно толщина диэлектрической пленки d ( рис. 11.4 а) должна быть меньше четверти длины волны в пространстве, заполненном данным диэлектриком. [20]
Иногда для определения толщин диэлектрических пленок, нанесенных на проводящие подложки, применяют емкостный метод. Емкость обратно пропорциональна толщине пленки, прямо пропорциональна площади электрода, который наносится на диэлектрическую пленку ( при условии, что площадь достаточно велика для сведения к минимуму краевых эффектов), и прямо пропорциональна диэлектрической постоянной пленки. К этим измерениям предъявляются ряд специфических требований: полное отсутствие в пленке сквозных проколов, точное значение диэлектрической постоянной. Диэлектрическая постоянная пленки сильно зависит от условий нанесения, см. гл. Так как имеются другие более точные методы измерения толщины диэлектрических пленок, то следует отметить, что с помощью емкостного метода измерения более эффективно определение диэлектрической постоянной тонких пленок. [21]
Страницы: 1 2