Cтраница 2
Нанесение защитных слоев методом диффузии из газовой среды позволяет осаждать на рабочие поверхности такие металлы, как А1 и Сг, дающие собственные защитные слои. Напыление уже готовых окислов при помощи плазменных головок дает пока еще слои, обладающие малым сцеплением с поверхностью основного металла, особенно при увеличении толщины напыляемого слоя. Гораздо более устойчивые слои получаются при наплавке на рабочую поверхность другого металла с его последующей обработкой и высокотемпературным окислением. В этом случае создаются два переходных слоя: наплавляемый металл - рабочая поверхность; наплавляемый металл - окисел или какое-либо другое соединение. Образование этих слоев сопровождается процессами диффузии при высокой температуре. [16]
С помощью механизма перемещения подложки из загрузочного бункера по одной попадают на горизонтальные направляющие, перемещаются по ним над катодом и затем подаются механизмом подъема в приемную кассету. В процессе транспортировки на подложке осаждается тантал. Толщина напыляемого слоя зависит от интенсивности процесса распыления и времени прохождения подложкой рабочей зоны. Последнее определяется тактом работы транспортного устройства ( от 10 с до 4 мин), который задается реле времени. [17]
В качестве порошка для напыления берется полиэтилен низкого давления, так как он термически более стоек и дешевле полиэтилена высокого давления. Перед напылением в порошок добавляется до 1 % сажи в качестве антистарителя. Толщина напыляемого слоя достигает 200 мк. [18]
В каркасе установки смонтирован пульт, на котором размещены приборы контроля технологических режимов и элементы управления установкой. Смена испарителей на позиции напыления ( поворот карусели) осуществляется вручную с автоматической фиксацией и указанием номера позиции испарителя. Заслонка, служащая для прерывания потока испаряемого материала, срабатывает от электромагнита. Управление заслонкой может осуществляться либо вручную, либо автоматически от прибора для контроля толщины напыляемого слоя или от реле времени. [19]
ПММА), нечувствительный к свету. Он позволяет получать линии шириной менее 0 1 мкм. Для реализации такого способа важно то, что поперечный разрез следа электронного луча в пленке ПММА имеет трапецеидальное сечение, обращенное узкой частью к поверхности пленки. Толщина напыляемого слоя металла должна составлять около 80 % толщины слоя ПММА, чтобы удаление этого последнего происходило удовлетворительно. Применение ионного травления также дает возможность полностью использовать разрешающую способность ПММА. [20]