Cтраница 2
Ро уменьшается от 12 до 1, то содержание примесей в осадке, в том числе фтора и кислорода, будет возрастать. Как показано в работах [103, 160], скорость осаждения вольфрамового покрытия достаточно высока и толщину осаждаемого слоя легко можно регулировать временем осаждения. [16]
Наиболее широко распространен анодный вариант нанесения электроосаждением. При этом на аноде происходит электролиз воды и растворение металла с осаждением покрытия. Толщина осаждаемого слоя пропорциональна плотности тока. При достижении некоторой определенной толщины процесс практически прекращается. Электроосаждение отличается высокой адгезией покрытия, высокой производительностью, хорошей равномерностью покрытия на стенках отверстий и внутренних полостей изделий, возможностью автоматизации процесса. [17]
Процессы нанесения ( электроосаждения) дисперсных материалов на холодные изделия изучены в меньшей степени. Для каждого материала при определенной напряженности электрического поля существует предельная толщина слоя осевших частиц. Чем выше напряженность поля, тем больший заряд приобретают дисперсные частицы, и тем быстрее образуется слой, препятствующий дальнейшему осаждению. Как правило, временная зависимость толщины осаждаемого слоя может быть установлена в каждом конкретном случае - для определенных оборудования, режима, изделия и используемого материала. В связи с авторегулируемостью электроосаждения, обусловленной существованием предельной толщины осадка, часто назначают только время напыления, которое обеспечивает ( для данных условий) осаждение максимально возможного количества материала. [18]