Кислотный травитель

Cтраница 1

Кислотные травители применяются в основном для обработки сплавов алюминия - силумина, дур-алюмина и др., при травлении которых щелочными травителями образуется черный налет. [1]

Кислотный травитель СР-4 обладает полирующим действием. В состав его входят азотная, плавиковая, уксусная кислоты и бром. [2]

Смеси на основе плавиковой и азотной кислот для обработки кремния. [3]

При обработке кремния кислотным травителем кислоты HF и HNO3 выполняют те же функции, что и при травлении германия: HNO3 - окислитель, HF - растворитель окислов, СН3СООН - замедлитель реакции. [4]

Сечения профиля экспозиции по центральной линии в радиальном и тангенциальном направлениях при NA 0 6 и 0 8 для различных значений скважности. [5]

Травление фоторезиста осуществляется с помощью кислотных травителей, которыми орошается поверхность вращающегося ДО. Поскольку время травления, так же как и профиль экспозиции, определяет тангенциальную симметрию, процесс травления должен быть остановлен в нужный момент. [6]

Рассмотрим действие отдельных компонентов полирующего кислотного травителя, например на основе азотной кислоты, на германий. [7]

Таким образом, как и в кислотном травителе, ускоряющий травление компонент не расходуется. [8]

В качестве замедлителя реакции травления в полирующий кислотный травитель вводят либо вещества, повышающие его вязкость ( глицерин, гликоли и др.), либо слабые кислоты ( уксусную, лимонную, винную и др.), которые, легко диссоциируя в водных растворах, уменьшают диссоциацию азотной кислоты и тем самым ослабляют ее окисляющее действие. [9]

Технология изготовления меза-дйффу-зионно-еплавного транзистора. [10]

Полученные транзисторные структуры обрабатывают в пергидроле ( иногда в кислотном травителе), промывают и сушат. [11]

Пленки алюминия легко растворяются как в щелочных, так и в кислотных травителях. [12]

Золото обладает большой химической стойкостью; в частности, оно совершенно не изменяется на воздухе и устойчиво в широко используемом в полупроводниковой технологии кислотном травителе - смеси плавиковой и азотной кислот. [13]

Зависимость давления паров золота от температуры. [14]

Золото обладает большой химической стойкостью: на воздухе совершенно не изменяется; с кислородом, водородом, азотом и углеродом не соединяется даже при самых высоких температурах; растворяется только в смеси соляной и азотной кислот - царской водке ( НС1: НМО3 1: 3), хлорной воде, цианистых растворах, безводной селеновой кислоте ( M2SeO4); устойчиво в широко используемом в полупроводниковой технологии кислотном травителе - смеси плавиковой я азотной кислот. [15]

Страницы: 1 2