Cтраница 2
Для очистки поверхности вольфрамовой проволоки, листов или изделий из них от слоя графита и окислов деталь погружают в расплавленный едкий натр на несколько секунд, после чего производят промывку ее горячей водой. В качестве кислотного травителя рекомендуется смесь, состоящая из 9 частей 50 % - ной плавиковой кислоты и 1 части концентрированной азотной кислоты. [16]
Соединения из высокохромистых аустенито-ферритных сталей, паянные свинцовым припоем, по данным Р. Е. Есепберлина, показали высокую стойкость к контактной коррозии в агрессивной среде, например серной кислоте любой концентрации, при следующем составе припоя, %: Sn 1 0 - 1 4; Ni 1 - 1 4; Al 0 08 - 0 12; Na 0 51 - 0 55; Ca 0 61 - 0 65, Pb - остальное; температура пайки 380 С. Повышение стойкости свинцовых припоев в кислотных травителях может быть достигнуто при легировании их германием и серебром. [17]
При выборе состава травителя металлической пленки при изготовлении структур ВШП необходимо учитывать возможность химического взаимодействия: фоторезистами и материалом звукопровода. Для позитивных фоторезистов 5П - 383 и ФП-РН-7 пригодны неразрушающие кислотные травители, щелочные ке травители действуют на позитивные фоторезисты весьма агрессивно. В то ке время такие материалы звукопроводов, как кварц, ниобат лития, пьезо-серамика и сульфид кадмия, сравнительно устойчивы к воздействию кислот, а золее химически активный германат висмута, наоборот, легко взаимодейству - т с органическими и минеральными кислотами, но устойчив к действию ще-ючей. [18]
Кремний входит в состав сплава не только в свободном состоянии, но и в виде соединений. Окислы Si образуют гидрофобную поверхность, на которую не действуют обычные щелочные обезжиривающие растворы и кислотные травители, поэтому литейные сплавы А1 с Si необходимо обрабатывать в плавиковой кислоте. В результате такой обработки поверхность становится гидрофильной. Так, автор работы [124] установил, что гидратированные окислы Si являются более гидрофильными, чем обычные. [19]
Отклонение от нормальной последовательности в соотношении скоростей травления в этом случае обусловлено высокой концентрацией протонов Н в кислотных травителях. Протоны, адсорбируясь на поверхности, могут создавать экранирующее действие при адсорбции ионов окислителя на поверхностях с малой плотностью упаковки атомов. [20]
Волокна, проволоки и нитевидные кристаллы, применяемые в качестве упрочнителей, перед процессом диффузионной сварки чаще всего подвергают поверхностной очистке химическими методами. Это связано с наличием на поверхности упрочнителей различного вида замасливателей, смазок, применяемых в процессе изготовления волокон и проволок, тонких слоев окислов и др. Такая очистка осуществляется в щелочных или кислотных травителях. [21]
Конденсаты фенола, n - грег-бутилфенола и формальдегида ( например, с молярным соотношением 2 3: 2 4: 3 3) этерифицируют на 20 - 60 % 5 - или4 - сульфокислотами либо 5-или 4-карбоновыми кислотами диазонафталинона. Эти смолы дают очень хорошую дифференциацию экспонированных и неэкспонированных участков по отношению к щелочному проявителю благодаря стойкости исходного слоя к действию оснований. Рельеф обладает стойкостью к действию кислотных травителей и отличается механической прочностью [ пат. [22]
Конденсаты фенола, n - грег-бутилфенола и формальдегида ( например, с молярным соотношением 2 3: 2 4: 3 3) этерифицируют на 20 - 60 % 5 - или4 - сульфокислотами либо 5 - или4 - карбоновыми кислотами диазонафталинона. Эти смолы дают очень хорошую дифференциацию экспонированных и неэкспонированных участков по отношению к щелочному проявителю благодаря стойкости исходного слоя к действию оснований. Рельеф обладает стойкостью к действию кислотных травителей и отличается механической прочностью [ пат. [23]
Для успешного снятия неэкспонированных участков резиста с укороченными цепями необходимо в качестве проявителей эмпирически подобрать соответствующие смеси растворов. Из данных, представленных в последней графе табл. 15, можно увидеть, что химическая устойчивость защитных покрытий из полистирола и способность этого материала обеспечивать разрешение тонких линий значительно отличается от других материалов. Было установлено, что полиметилмета-крилат сочетает хорошее разрешение линий с хорошей стойкостью к кислотным травителям. Линии шириной 2 мкм с хорошо сформированными краями с успехом были получены в пленках SiOa толщиной 2600 А и пленках А1 толщиной 1000 А. При этом маскирующее покрытие легко снимается в ацетоне. [24]
Подтразливание как результат плохой адгезии слоя фоторезиста следует отличать от перетравлпвания. Перетравливание происходит при продолжительном боковом растравливании, после того как экспонированные участки пленки были уже растворены. Это может произойти при травлении пленок металла, когда не установлены толщина пленки и скорость травления. Перетравливанне проявляется в виде глубоко и неровно растравленных краев линий и в большинстве случаев происходит по-видимому, при использовании очень быстрых травителей. В этом случае очень трудно точно установить продолжительность травления. Увеличение продолжительности бокового растравливания обусловлено тем, что молекулы травящего раствора сцепляются с поверхностью образца; ограничить продолжительность растравливания можно быстрым исключением воздействия травителя помещением подложки в стоп-ванну. Раствор в этой ванне должен иметь такой состав, который немедленно бы остановил химическую реакцию, возбужденную травителем. Примером может служить прекращение действия кислотного травителя алюминия при погружении образца в ванну с разбавленным щелочным раствором. Одним из других методов является уменьшение скорости травления разбавлением травителя, лучше всего вязкими жидкостями, подобными полиспиртам. В этом случае следует резко уменьшить обмен свежего и отработанного раствора травителя на краях линий. Этот метод иногда целесообразно применять и при травлении распылением, потому что экспонированные участки пленки более эффективно обрабатываются травителем, и промывочным раствором, чем края линяй. [25]