Полирующий травитель

Cтраница 1

Полирующие травители предназначаются для удаления материала с микровыступов поверхности, после действия которых получается весьма гладкая поверхность. В некоторых препаратах р - и я-типы полупроводников травятся почти с одинаковой скоростью, но при трав лении ими р - n - переходов травится почти только одна сторона перехода. [1]

Полирующие травители предназначены для удаления материала с микровыступов поверхности, после действия которых получается весьма гладкая поверхность. В некоторых препаратах р - и n - типы полупроводников травятся почти с одинаковой скоростью, но при травлении ими р - - переходов травится почти только одна сторона перехода. [2]

Полирующий травитель Уайта содержит 3 части азотной и 1 часть плавиковой кислот. [3]

Смеси на основе плавиковой и азотной кислот для обработки германия. [4]

Для получения полирующих травителей используют смесь плавиковой и азотной кислоты с менее активными, чем бром, реагентами. В качестве разбавителей, замедляющих скорость травления, обычно служит вода или уксусная кислота. [5]

Наиболее распространенным полирующим травителем как для кремния, так и для германия является безводный хлороводород. Его применение хорошо согласуется с технологией и аппаратурой наиболее распространенного в настоящее время хлоридного способа получения эпй таксиаль-ных структур элементарных полупроводников. Они связаны между собой зависимостью, выраженной графически на рис. 6.2, из которой следует, что режим полирующего травления требует применения малых концентраций хлороводорода и высоких температур. При повышенной концентрации хлороводорода и понижении температуры происходит селективное травление, в результате которого поверхность кремния покрывается ямками травления. [6]

Первым двум требованиям удовлетворяют полирующие травители, не выявляющие реальной структуры образца. Для этих травителей скорость процесса растворения определяется кинетикой подвода реагентов, их диффузией к поверхности твердого тела и не зависит от ориентации кристалла и других его физических свойств. Здесь важно соотношение между скоростью реакции взаимодействия компонентов травителя с твердым телом и скоростью диффузии. Если скорость диффузии мала по сравнению со скоростью самой реакции, именно она определяет скорость растворения. Для арсени-да галлия среди полирующих травителей удобными для последующего спектрального анализа являются растворы очень небольших концентраций брома в метиловом спирте, для кремния и германия - смеси плавиковой и азотной кислот в области малых концентраций HF. [7]

Следует иметь в виду, что любой полирующий травитель в первый момент является селективным. [8]

В идеальном случае растворитель должен быть для подложки полирующим травителем. [9]

Таким образом, выявление резких, но малых по размеру неоднородностей происходит в полирующем травителе по такому же механизму, как и в селективном. Поскольку при этом более крупные неоднородности остаются невыявленными, наблюдение микронеоднородностей после полирующего травления является гораздо более легкой задачей, чем после селективного. [10]

Окись свинца РЬО ( температура плавления 888 С [3]) в [11] рекомендуется как полирующий травитель для В ( 0001) на a - SiC, причем указывается, что травление в РЬО дает воспроизводимые результаты. [11]

Окись свинца РЬО ( температура плавления 888 С [3]) в [11] рекомендуется как полирующий травитель для В ( 0001) на cc - SiC, причем указывается, что травление в РЬО дает воспроизводимые результаты. [12]

Необходимо также отметить, что при выявлении очень маленьких по геометрическим размерам неоднородностей применение полирующих травителей более эффективно, чем селективных. С другой стороны, концентрация молекул травителя изменяется за счет процессов диффузии относительно плавно и не может скачкообразно принять другое значение. Иными словами, можно утверждать, что в пределах небольшого объема, определяемого так называемой диффузионной длиной, концентрация молекул травителя практически постоянна. [13]

Полярографические методы определения примесей в арсениде галлия. [14]

Для определения поверхностных загрязнений пленок арсени-да галлия предложен химико-спектральный метод [205], основанный на последовательном снятии полирующим травителем двух тонких слоев одинаковой толщины и использовании внутреннего слоя в качестве холостого опыта к наружному слою. [15]

Страницы: 1 2