Cтраница 1
Травление хрома проводят в соляной кислоте с катализатором алюминиевой палочкой. [1]
Скорость травления хрома мала. [2]
![]() |
Схема изотропного травления. [3] |
Ванны для травления хрома обычно содержат 454 г А1С13 - 6Н2О, 135 г ZnCl2, 300 мл Н3РО4 в 400 мл Н2О или 20 г Ce ( SO4) 3, 164 мл концентрированной HNO3, 6 мл концентрированной H2SO4 в 550 мл воды. [4]
Ванны для травления хрома обычно содержат 454 г А1С13 - 6Н2О, 135 г ZnCl2, 300 мл Н3РО4 в 400 мл И2О или 20 г Ce ( S04) 3, 164 мл концентрированной HNO3, 6 мл концентрированной H2SO4 в 550 мл воды. [5]
Изучение скоростей травления хрома различной структуры как с поверхности, так и в каналах имеет большое практическое значение. [6]
![]() |
Схема выявления кана - сти остается практически лов пористого хрома неизменной ( 6, г, д, е. [7] |
При этом можно предполагать, что истинная площадь травления хрома по достижении каналами максимальной глубины практически не изменяется. [8]
![]() |
Полупроводниковая интегральная микросхема на сапфировой. [9] |
Такой метод применяется в связи с тем, что непосредственное травление хрома затруднительно. Для создания контактов на всю поверхность напыляется алюминий и проводится селективное травление его. Алюминий служит верхним электродом конденсаторов, контактом к нихромовым резисторам и соединяет все элементы. [10]
![]() |
Схема изотропного травления. [11] |
В случае биметаллических или триметаллических офсетных форм наибольшее значение имеет травление хрома и меди. Гальванический элемент, возникающий при травлении многослойных структур из разных металлов, обусловливает повышенную скорость травления одного металла, изменяет размеры рельефа и вызывает расслаивание. [12]
![]() |
Влияние продолжительности анодного травления на потенциал хромового. [13] |
Оценивая полученные результаты, можно считать, что по израсходовании на травление хрома определенного количества электричества истинная площадь хромового покрытия достигает предельной величины. [14]
Для травления магния иногда используются те же процессы, что и для травления хрома. [15]