Кварцевая труба
Cтраница 2
 |
Схема установки для выращивания эпитаксиальной пленки хлоридным способом. [16] |
В кварцевую трубу 4, нагреваемую индуктором 3, устанавливают лодочку с расположенными в ней кремниевыми подложками. Испарители 2 и 5, содержащие тетрахлорид кремния и фосфорный водород, вначале охлаждают жидким азотом для снижения давления паров. [17]
На кварцевую трубу надевают нихромовую спираль из нескольких витков. Спираль перемещается вдоль трубы при помощи специального механизма. [18]
В кварцевой трубе в атмосфере водорода при температуре около 900 С в течение 10 ч производят диффузию галлия на глубину 3 8 - 4 мк для образования базового р-слоя. В качестве источника используют порошок германия р-типа, сильно легированного галлием. [19]
 |
Заглушка с водяным охлажде-нием ( разрез. [20] |
Если применяется кварцевая труба, то один ее конец можно просто заплавить, а другой присоединить встык на толстостенной резиновой трубе к вакуумной системе. [21]
 |
Изменение удельного поверхностного сопротивления Rex вдоль зоны диффузии при различных температурах загонки ( сл измерялось после разгонки примеси при 1220 С. [22] |
Чистые стенки кварцевой трубы способны поглощать диффузант, обедняя рабочую смесь. [23]
 |
Чехольчик из фторопласта-4 ( 83. [24] |
Термическую стойкость кварцевых труб определяют следующим образом. Отрезок трубы длиной не менее 100 мм нагревают в течение 15 мин в муфельной печи до температуры 800 С, затем его быстро погружают на 5 мин в дистиллированную воду с температурой 20 С. Каждый образец трубы должен выдерживать пятнадцатикратное испытание на термическую стойкость без разрушения. [25]
Реактор представляет собой кварцевую трубу ( диаметр 40 мм, высота 1000 мм), конденсатор выполнен из нержавеющей стали и снабжен лопастным скребком. [26]
 |
Схема синтеза С2р4 в тлеющем разряде. [27] |
Реактор представляет собой кварцевую трубу диаметром 10 - 12 см, высотой 30 - 50 см, закрытую с обеих сторон металлическими крышками. [28]
 |
Закалочная печь Розенгайна. [29] |
Печь имеет длинную кварцевую трубу, которая в первоначальной конструкции эвакуировалась, так что благодаря вакууму можно было создавать внезапный напор воды. Конструкция легко изменяется для отжига в инертной атмосфере, и тогда труба ее откачивается непосредственно перед закалкой. [30]
Страницы: 1 2 3 4 5