Микрофотонаборная установка
Cтраница 1
Микрофотонаборные установки ( генераторы изображений) позволяют объединить формирование рисунка фотооригинала и фоторедуцирование в единый процесс. [1]
Изготовление эталонного фотошаблона непосредственно на микрофотонаборной установке ЭМ-519Б или ЭМ-549 позволяет получить размеры электродов 5 - 10 мкм как на фотоэмульсии, так и на пленке хрома. Такие размеры соответствуют рабочим частотам фильтров ПАВ около 70 - 90 МГц с расщепленными и 140 - 180 МГц с нерасщепленными электродами. [2]
Совершенствуя процесс производства фотошаблонов, используют микрофотонаборные установки с программным управлением. В микрофотонаборных установках топологический рисунок на заготовке со светочувствительным покрытием формируется путем последовательного проекционного экспонирования простейших элементов, форма и координатное положение которых определяется программой. [3]
 |
Последовательность операций изготовления промежуточных фотошаблонов в АСИФ. [4] |
В структурном отношении АСИФ представляет собой ЭВМ и программно-управляемую микрофотонаборную установку, в которой информация о топологии БИС, поступающая от ЭВМ, преобразуется в соответствующий оптический эквивалент. Программное обеспечение АСИФ осуществляют набором подпрограмм, объединенных управляющей программой. [5]
В последнее время все более широкое применение для изготовления фотошаблонов без выполнения оригиналов находят микрофотонаборные установки. Первая из семейства отечественных микрофотонаборных установок - установка ЭМ-508, которая предназначена для быстрого и дешевого изготовления прецизионных фотошаблонов, применяемых в производстве ИМС. В установке использован принцип фотонабора, по которому нужную топологию фотошаблонов набирают из некоторого количества стандартных прямоугольных элементов, последовательно экспонируемых в нужных местах фотопластины. Оригинальное конструктивное решение ряда узлов позволило реализовать этот принцип в установке для промышленного изготовления прецизионных фотошаблонов. В от-личии от фотонаборных установок зарубежных фирм в этой уста-новке используются датчики перемещения на отражательных дифракционных решетках. [6]
 |
Схема макета лазерного генератора изображений. [7] |
Управление ЛГИ осуществляется при помощи ЭВМ путем задания команд Рабочее слово, выдаваемых на устройства управления микрофотонаборной установки, и команды Такт, поступающей на устройство запуска, на которое поступают также счетные импульсы, соответствующие перемещению координатного стола с обрабатываемым образцом. После этого устройство запуска выдает команду на включение лазера и снова начинается подсчет импульсов. Таким образом при непрерывном движении стола формируется непрерывная линия. [8]
Последний этап автоматизированного конструирования БИС - подготовка производства, которая включает выпуск конструкторской документации и подготовку управляющих программ для технологических автоматов: автоматических координатографов и микрофотонаборных установок. [9]
Совершенствуя процесс производства фотошаблонов, используют микрофотонаборные установки с программным управлением. В микрофотонаборных установках топологический рисунок на заготовке со светочувствительным покрытием формируется путем последовательного проекционного экспонирования простейших элементов, форма и координатное положение которых определяется программой. [10]
В последнее время все более широкое применение для изготовления фотошаблонов без выполнения оригиналов находят микрофотонаборные установки. Первая из семейства отечественных микрофотонаборных установок - установка ЭМ-508, которая предназначена для быстрого и дешевого изготовления прецизионных фотошаблонов, применяемых в производстве ИМС. В установке использован принцип фотонабора, по которому нужную топологию фотошаблонов набирают из некоторого количества стандартных прямоугольных элементов, последовательно экспонируемых в нужных местах фотопластины. Оригинальное конструктивное решение ряда узлов позволило реализовать этот принцип в установке для промышленного изготовления прецизионных фотошаблонов. В от-личии от фотонаборных установок зарубежных фирм в этой уста-новке используются датчики перемещения на отражательных дифракционных решетках. [11]
Включение третьей скорости и блокирует его. По окончании отработки координаты команда на включение лазера поступает с микрофотонаборной установки. Таким образом формируется непрерывная линия заданной длины. [12]
В отечественной промышленности и за рубежом [85] процесс изготовления фотошаблонов для интегральных схем ( особенно для схем высокой степени интеграции) в связи с большой трудоемкостью и высокими требованиями к точности автоматизируется. При этом используются как специализированные автоматы управления координатографами для вычерчивания оригиналов или микрофотонаборными установками, так и системы управления на базе мини - ЭВМ. [13]
При импульсной мощности 3 кВт экспериментально определенная величина обработанной площади составляет 0 34 - 10 - 4 см2 при диаметре пятна 60 мкм. Считая перекрытие соседних пятен в линии равным радиусу пятна, можно определить скорость рисовки линии, которая составляет 12 мм / с, что намного перекрывает скорость движения координатного стола микрофотонаборной установки. [14]
В состав системы 15УТ - 4 - 017 входят мини - ЭВМ Электроника 100 / 25, рабочие места, оборудованные кодировщиками, алфавитно-цифровые и графические дисплеи, координатографы. Система позволяет проектировать топологию БИС и редактировать информацию в интерактивном режиме. При этом анализируют и редактируют эскиз кристалла и топологию компонентов и кристалла, преобразовывают топологию кристалла в информацию для управления микрофотонаборной установкой. [15]
Страницы: 1 2