Cтраница 2
Установка ЭМ-519Б-более точная и производительная, чем ЭМ-519А. Обе установки отличаются от ЭМ-508 большим рабочим полем, широкими возможностями наборной диафрагмы, наличием программного устройства ее поворота, высокой производительностью и эксплуатационной надежностью. Программа вводится с бумажной перфоленты. Микрофотонаборная установка ЭМ-519Б вместе с фотоповторителем ЭМ-522А составляет комплект оборудования для изготовления фотошаблонов, соответствующих современным требованиям производства изделий микроэлектроники. Применение в качестве источника света мощных ртутных ламп ДРШ-250 позволяет экспонировать фоторезист без существенной потери производительности. [16]