Адсорбция - остаточный газ
Cтраница 1
Адсорбция остаточных газов полупроводниками, с одной стороны, может вызвать необратимые изменения поверхности полупроводника, а с другой стороны, изменить распределение носителей заряда в твердом теле. Например, кислород, адсорбируясь на поверхности германия, диссоцирует и в зависимости от давления газа и свойств материала проявляет свое воздействие либо как акцептор, либо как донор. [1]
Адсорбция остаточных газов на поверхности углеродного волокна обусловливается так называемыми дисперсионными силами. [3]
 |
Схема анализа изготовления изделия.| Подсистема анализа Конструктивное исполнение. [4] |
Для адсорбции остаточных газов в нижней части внутреннего сосуда имеется камера, заполненная адсорбентом. В межстенное пространство встроен фильтр, уменьшающий унос теплоизоляционного материала. Трубка фильтра выведена наружу. После откачки воздуха из сосуда трубка пережимается и закрывается предохранительным колпачком. Внутренний сосуд фиксируется от смещения в горизонтальной плоскости. [5]
Поскольку переходные характеристики определяются в основном адсорбцией остаточных газов, рассмотрим этот вопрос подробнее. [7]
На рис. 3.36 в качестве примера представлена серия фотографий эмиссионных изображений после периода адсорбции остаточных газов в течение 60 минут. [8]
Улучшение вакуума, полученного при откачке насосами, и его сохранение может быть достигнуто адсорбцией остаточных газов. Адсорбцией называется поглощение газа путем удерживания его поверхностью твердого тела. [9]
 |
Ход процесса регенерации ми - Успешное решение вопроса. [10] |
Давление в системе может понизиться в этом случае на 1 - 2 порядка ниже 1 мм рт. ст. за счет охлаждения и адсорбции остаточного газа. [11]
Как следует из рис. 3.15, а также и из других аналогичных изученных зависимостей, геометрия поверхности катода в целом сохраняется на протяжении всех циклов испытания, что дает нам право утверждать, что изменение тока обусловливается не изменением геометрии, а именно адсорбцией остаточных газов. Особый интерес вызывают случаи, когда катоды из волокна длительное время ( более 1 месяца) находятся при давлении Р 10 - мм рт. ст. Здесь первоначальное изображение в начале очередного рабочего периода после столь длительного периода адсорбции сильно отличается от изображения, полученного в конце предыдущего и текущего периода. Объяснением этому может служить то, что адсорбированные молекулы ориентированы таким образом, что прозрачность потенциального барьера увеличивается. Мы полагали, что адсорбция остаточных газов понижает работу выхода. В действительности возможно как ее уменьшение, так и ее увеличение. Например, полярная молекула воды может адсорбироваться как положительным, так и отрицательным концом диполя наружу; в первом случае работа выхода уменьшится, во втором - увеличится. [12]
В проблеме получения больших автоэмиссионных токов, а, следовательно, и использования автокатодов с большой рабочей площадью, решающую роль играет геометрическая неоднородность микровыступов по рабочей поверхности катода. Однако неизбежно присутствующие при автоэмиссии адсорбция остаточных газов и ионная бомбардировка приводят к неодинаковому изменению радиусов закругления микровыступов или, если следовать терминологии уравнения Фау-лера - Нордгейма, форм-фактора. Это приводит к перегрузке отдельных микровыступов, их взрывному испарению, разряду между катодом и анодом, и, как следствие, к деградации катода. В случае автокатодов из углеродных материалов геометрическую однородность эмиттирующих микровыступов создать практически невозможно. Поэтому основным инструментом, выравнивающим эмиссионные характеристики поверхности автокатода, является формовка, о чем уже неоднократно упоминалось. Однако, как показано выше, простая формовка для автокатодов большой площади не приносит желаемых результатов. Это связано, по-видимому, не только с большой неравномерностью микро -, но и макроповерхности катода, а также с изменениями расстояния анод-катод, которые при их малой величине играют очень большую роль. Такие операции осуществляются с помощью вычислительно-управляющих комплексов на базе ЭВМ путем снятия вольт-амперных характеристик до токов, ббльших первоначального значения для формовки, после чего производится повторная формовка автокатода. После ее окончания вольт-амперная характеристика в области больших токов практически не изменяется ( в координатах Фаулера-Нордгейма), а в области минимальных токов - сдвигается до попадания в требуемый допуск. На основании указанных операций получен [214] автоэмиссионный ток 100 мА в непрерывном режиме с 9 автоэлектронных катодов из пучков углеродных волокон диаметром 70 мкм. [13]
Хотя применение первого метода ограничено случаями, когда окислы металла нестабильны, все же очисткой мгновенным раскаливанием до высокой температуры в вакууме можно легко получить чистые поверхности тугоплавких нитей, изготовленных, например, из вольфрама или молибдена. При охлаждении поверхность будет очень легко загрязняться из-за адсорбции остаточного газа в системе. Тем не менее если понизить давление остаточного газа при помощи геттеров до достаточно малой величины, то скорость загрязнения уменьшится настолько, что в продолжение серии опытов чистота поверхности будет оставаться удовлетворительной. [14]
Согласно определению, данному в работе [288], это такие системы, которые конструируются из материалов с малыми скоростями газовыделения и могут быть обезгажены до такой степени, при которой с помощью насоса средней производительности может быть получен вакуум не хуже Ю-9 мм рт. ст. Оптимальной операцией, с точки зрения максимального по величине и наиболее быстрого во времени снижения скорости газовыделения, является отжиг всех внутренних элементов системы или, по крайней мере, ее камеры. Еще одно достоинство прогрева связано с тем, что при последующем за ним охлаждении происходит адсорбция остаточных газов до полного насыщения поверхности, в результате чего быстрота откачки системы временно увеличивается. [15]
Страницы: 1 2