Cтраница 4
![]() |
Насадочньй аппарат. 1-неподвижная насадка. 2 - опорные решетки. 3, 4-соответст-венно распределители и перераспределители жидкости. [46] |
Для Н.в. используют технол. Установки периодического действия осуществляют один цикл нанесения пленок при заданном числе загружаемых изделий. Установки непрерывного действия используют при серийном и массовом произ-ве. Они бывают двух видов - многокамерные и мно. Первые состоят из последовательно расположенных напылит, модулей, в каждом из к-рых осуществляется напыление пленок определенных материалов или их термич. Модули объединены между собой шлюзовыми камерами и транспортирующим конвейерным устройством. [47]